激光刻膜机介绍.ppt

该【激光刻膜机介绍 】是由【sanyuedoc】上传分享，文档一共【20】页，该文档可以免费在线阅读，需要了解更多关于【激光刻膜机介绍 】的内容，可以使用淘豆网的站内搜索功能，选择自己适合的文档，以下文字是截取该文章内的部分文字，如需要获得完整电子版，请下载此文档到您的设备，方便您编辑和打印。2025/1/30
1
202X
单击此处添加副标题
非晶硅薄膜产品线介绍
我司非晶硅薄膜产品线共含四台设备；其中激光划线机3台（1台1064nm红光；2台532nm绿光【两台一样】）；激光增透机1台；激光清边机1台。
汇报日期
华工非晶硅产品线介绍
2
激光划线机（P1为1064nm刻TCO膜、P2为532nm刻非晶硅膜、P3为532nm刻Al铝层）
01
激光增透机（P4为532nm）
02
激光清边机（P5为1064nm）
03
2025/1/30
激光划线机设备机型介绍
3
2
1
激光划线机图片仅供参考
激光划线机介绍
（P1、P2、P3）
2025/1/30
激光划线运用
4
P1
P2
P3
2025/1/30
系统组成
激光划线机组成
5
红外激光器系统、（绿激光器系统）、声光调制系统及光学系统、分光机构、聚焦系统、控制及软件系统、。
01
可根据客户需求配备玻璃翻转机构。（实现自动化生产）
02
2025/1/30
系统的工作原理
6
2025/1/30
划线机激光器
7
激光器1：(P1)
激光波长： 1064 nm
工作频率范围： 1～100KHz
平均功率： > ******@50kHz
激光脉冲能量不稳定性：< 2%(RMS)
激光脉冲宽度： <40 ******@50KHz
激光模式： TEM00 偏振方向：水平
光斑圆度： >90% 晶体： YVO4
光束质量： M2 <
出口光斑：
远场发散角： mrad
泵浦方式： 光纤耦合端面泵浦
2025/1/30
划线机激光器
8
激光器2(P2、P3)：
激光波长： 532nm
工作频率范围： 1～100KHz
平均功率： >******@30kHz
激光脉冲能量不稳定性：< 2%(RMS)
激光脉冲宽度： <12 ******@30KHz
激光模式： TEM00
光斑圆度： >90%
光束质量： M2 <
出口光斑：
远场发散角： mrad
偏振方向： 垂直
晶体: YVO4
泵浦方式： 光纤耦合端面泵浦
2025/1/30
划线所达到的指标
9
A
①刻线光滑清晰，刻划线膜层两侧不能粘
B
连短路（检测方式为万用表Ω档）
C
②线宽：-
D
③
2025/1/30
10
● 1）分光系统：四路同时输出，光束间功率最大差别小于5％，且四条光束的间距可调，调节范围：5mm－18mm；
● 2）全反及半反光学系统高精度反射、聚光系统
● 3）配置2-8 倍扩束系统，保证光束高质量
2025/1/30
光学系统 （采用全封闭光路系统）