半导体敏感元件(湿度).ppt

该【半导体敏感元件(湿度) 】是由【licaia】上传分享，文档一共【41】页，该文档可以免费在线阅读，需要了解更多关于【半导体敏感元件(湿度) 】的内容，可以使用淘豆网的站内搜索功能，选择自己适合的文档，以下文字是截取该文章内的部分文字，如需要获得完整电子版，请下载此文档到您的设备，方便您编辑和打印。湿度传感器
01
单击此处添加文本具体内容，简明扼要地阐述你的观点
Ⅰ
湿度表示方法
半导体结型和MOS型湿敏元件
Ⅱ
湿敏传感器分类
高分子湿度传感器
Ⅲ
湿度传感器的主要参数
湿敏传感器的应用
典型湿度传感器
Ⅳ
几种常用测量湿度方法
点击添加正文
Ⅴ
半导体陶瓷湿敏元件
点击添加正文
Ⅵ
元素半导体湿敏元件
点击添加正文
课程内容
1 湿度表示方法
霜点温度
湿度：
常表示为%RH；
在某一温度下，其水蒸气压同其饱和蒸气压的百分比。
大气中含有水蒸气的多少,表明大气的干湿程度。
道尔顿部分压力定律：在常温常压下，一定体积混合气体的压力，等于其各组成成分分别单独在相同体积内产生的部分压力之和。
当空气的温度下降到某一特定温度,空气中的水蒸气将向液相转化而凝结成露珠,相对湿度为100％RH，简称露点。
如果露点温度低于0℃时,水蒸气将结霜,统称为露点。
相对湿度
露点温度
绝对湿度
单位体积内,空气里所含水蒸气的质量。
按材料
毛发式、干湿球式、陶瓷式、有机高分子式、半导体式和电解质式等。
02
按湿敏元件输出的电学量
电阻式、电容式和频率式等；
03
按探测功能
相对湿度、绝对湿度、结露和多功能式四种；
01
2 湿敏传感器分类
2 湿敏传感器分类
干球温度计
湿球温度计
刻度盘
纱布
水槽
干湿球式湿度计
2 湿敏传感器分类
干湿球式湿度计
利用水蒸发要吸热降温，而蒸发的快慢（即降温的多少）是和当时空气的相对湿度有关。
原理
3 湿度传感器的主要参数
A 湿度量程
B 感湿特征量
C 感湿灵敏度
D 特征量温度系数
电容温度系数(%/℃)=
电阻温度系数(%/℃)=
ΔT—温度25℃与另一规定环境温度之差；
E 感湿温度系数
感湿温度系数(%RH/℃)=
ΔT—温度25℃与另一规定环境温度之差；
低湿型（%RH-30%RH）
中湿型（30%RH-70%RH）
高湿型（70%RH-100%RH）
全湿型（0-100%RH）
例：R1%/ R20%
3 湿度传感器的主要参数
F 响应时间
频率特性
加直流电压，会引起湿敏元件的感湿体内水分子电解，致使其电导率随时间的延长而下降。故采用交流电压。
高湿时，频率影响较小；低湿高频时，频率增加，元件阻值下降，上限频率通常由实验决定；为防止水解，频率通常大于50Hz。
H 电压特性
G 湿滞回线和湿滞回差
注：通常脱湿响应时间大于吸湿相应时间；
4 几种常用测量湿度方法
用纤维素与约 50微米厚金属箔粘合在一起，卷成螺旋状构成；适用范围: 30%～100%RH。
毛发湿度计
电子式温湿度计
干湿球式温湿度计
5电解质湿度传感器
R
感湿膜
梳状
柱状
氯化锂湿度—电阻特性曲线
利用吸湿性盐类潮解，离子导电率发生变化而制成的测湿元件。
原理