基于ITO替代材料的透明电极制作.ppt

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报告人：朱爱青
ITO的概述
什么是ITO?
ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。而ITO导电玻璃是在纳钙基或硅硼基基片玻璃上，利用溅射、蒸发等多种方法镀上一层ITO薄膜加工制作而成。液晶显示器专用ITO导电玻璃有时还要在中间镀上一层阻挡层，，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。
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在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过率高，氧化锡导电能力强；
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ITO具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变”；
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ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质；
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ITO在600度以下会随着温度的升高，电阻增大。
ITO导电膜的特性
ITO导电玻璃的分类
：
高电阻玻璃（150~500Ω）——用于静电防护、触摸
屏制作
普通玻璃（60~150Ω）——用于TN类液晶显示器和
和电子抗干扰
低电阻玻璃（小于60Ω）——用于STN液晶显示器
和透明线路板
:14x14 、14x16、20x24等规格
按厚度分：、、、 、、
按平整度分：抛光玻璃和普通玻璃
注：
不允许有裂纹，；。
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玻璃体点状缺陷：包括气泡、夹杂物、表面凹坑、异色点等。点状缺陷的直径定义为：d=(缺陷长+缺陷宽)/2。
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玻璃体线状缺陷(宽度W)：包括玻筋、光学变形。
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外观质量
不容许叠放，一般要求竖响放置，平放操作时，尽量保持ITO面朝下；
取放时只能接触四边，不能接触导电玻璃ITO表面；
轻拿轻放，不能与其它治具和机器碰撞；
长时间存放要注意防潮，以免影响玻璃的电阻和透过率；
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使用和贮存
对于大面积和长条形玻璃，在设计排版时要考虑玻璃基片的浮法方向。
01
ITO导电玻璃应贮存在室温条件下，湿度在65%以下干燥保存；贮放时玻璃保持竖向放置，玻璃间堆放不可超过二层，木箱装ITO导电玻璃货物堆放不可超过五层。纸箱装货ITO导电玻璃货物，原则上不能堆放。
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ITO导电玻璃的贮存方法：
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电化学扩散工艺：
在玻璃上用电化学扩散方法可获得掺杂超导薄膜。玻璃在电化学处理装置中与熔融金属或化合物接触，在一定的电场作用下，熔融金属或化合物中的离子会扩散到玻璃表面，玻璃中的一价碱金属离子离解处来，等量地扩散至阴极表面，使玻璃表面的化学组成发生变化。
制造工艺
高温喷涂和等离子体喷涂工艺：
这种技术是将粉末状金属或非金属、无机材料加热至熔化或未熔化状态，并进一步加温使其雾化，形成高温高速焰流喷向需喷涂的玻璃基体。采用这种方式可以先在基体上制备YBaGUOx等涂层，在经过热处理可成为超导性材料。
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