光学元件的激光损伤阈值测量.doc

光学元件的激光损伤阈值测量
第35卷第2期

红外与激光工程
InfraredandLaserEngineering
2006年4月

光学元件的激光损伤阈值测量
胡建平,马平,许乔
(成都精密光学工程研究中心,四川成都610041)
摘要:
伤闽值的不确定度来源,包括激光能量测量,光斑有效面积测量,各能量密度处几率的计算以及对损


%.
关键词;激光损伤;阈值测量;不确定度
中图分类号:TN24;:A文章编号:1007—2276(2006)02—0187—05
Laserdamagethresholdmeasurementoftheopticalelements
HUJian-ping,MAPing,XUQiao
(,China)
Abstract:Preciselaserdamagethresholdmeasurementisanecessaryconditionofstudyinghighly
:
includinglaserenergymeasurement,faculaeffectiveareameasurement,ountateachenergy


posi~uncertaintyoflaserdamagethresholdmeasurementis
%.
Keywords:Laserdamage;Damagethresholdmeasurement;Damageuncertainty
0引言
在Nd:YAG高功率大能量激光装置中,光学元件
的激光损伤阈值一直是其技术发展的瓶颈因素之一.
为了研究和测量光学元件的激光损伤,国内外对激光
损伤阈值测量规范和装置进行了大量研究【
元件的激光损伤是限制高功率激光器激光能量输出
的关键因素【,对于高功率激光器的建造(如
美国的NIF),光学元件激光损伤阈值的准确测量显


理研究的重要手段.
收稿日期:2005—07—13;修订日期:2005-10-09
+基金项目:国家863计划项且资助课题
作者简介:胡建平(1964一)男,湖北荆门人,副研究员,主要从事薄膜与激光损伤研究.
l88红外与激光工程第35卷
光学中心研制的一套多功能,全自动激光损伤阈
,532,355nm波长多种

激光散射装置实时监测,并由Normaski200倍显微镜
标定,该装置由计算机集成控制,具有良好的操作性
和运行参数控制能力,可实现l-,,,

心激光损伤阈值测量装置l—on—l激光损伤阈值测量
方法和测量结果.
激光损伤阈值测量装置


段Nd:YAG单纵模调Q激光器,激光传输光路,He—
Ne激光准直光路,激光聚焦光路,激光参数实时测量
装置,高精度样品平台和激光损伤判断系统组成.
M2
图1激光损伤阈值测量光路

该激光器为Nd:YAG调Q激光器,能稳定地输出
l064,532,355nrll的TEM0D模激光,激光脉宽根据需
要,通过调节激光振荡器的腔长和