国外养老模式及养老地产案例研究.ppt

2018/5/18
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扫描电子显微镜
合肥工业大学分析测试中心
洪雨

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主要内容
SEM的发展简史
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SEM的主要性能
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SEM的衬度形成原理
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SEM的基本结构与原理
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能谱仪
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EBSD的原理
SEM的发展简史
1
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扫描电子显微镜
SEM
扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)是继透射电镜(TEM)之后发展起来的一种电子显微镜
SEM
成像原理和光学显微镜或透射电子显微镜不同,它是以电子束作为照明源,把聚焦得很细的电子束以光栅状扫描方式照射到试样上,产生各种与试样性质有关的信息,然后加以收集和处理从而获得微观形貌放大像。
SEM
扫描电镜在断口失效分析、材料微观组织形貌观察及成分分析方面发挥了重要作用。
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SEM的发展
1938年,德国工程师Max Knoll和Ernst Ruska制造出了世界上第一台透射电子显微镜(TEM)。
电子显微镜的分辨率可以达到纳米级(10-9nm)。可以用来观察很多在可见光下看不见的物体,例如病毒。
Max Knoll(1897-1969) Ernst Ruska(1906-1988)
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SEM的发展
1952年,英国工程师Charles Oatley制造出了第一台扫描电子显微镜(SEM)。
Charles Oatley
电子显微镜下的蚊子
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SEM的发展
到1955年扫描电镜的研究才取得较显著的突破,成像质量有明显提高,并在1959年制成了第一台分辨率为10nm的扫描电镜。
第一台商业制造的扫描电镜是Cambridge Scientific Instruments公司在1965年制造的MarkⅠ“Steroscan”。将场发射电子枪用于扫描电镜,使得分辨率大大提高。
1978年做出了第一台具有可变气压的商业制造的扫描电镜,到1987年样品腔的气压已可达到2700 Pa。
目前扫描电镜的发展方向是采用场发射枪的高分辨扫描电镜和可变气压的环境扫描电镜(也称可变压扫描电镜)。目前的