紫外光学线宽扫描测量装置的成像系统研究-仪器仪表工程专业毕业论文.docx

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专业硕士学位论文紫外光学线宽扫描测量装置的成像
系统研究
作者姓名: 韭明凯指导教师: 直星旦硒究员
庄苤胜教援
专业名称: 邀墨邀麦工程研究方向: 微纳丕统及塑!!量撞丕
A Dissertation Submitted for the Degree of Master
Ultraviolet optical scanning linewidth measuring imaging system search
By
Zhang Mingkai
Hefei University of Technology Hefei,Anhui, March,2014
合肥工业大学
本论文经答辩委员会全体委员审查,确认符合合肥工业大
学专业硕士学位论文质量要求。
答辩委员会签名(工作单位、职称、姓名) 主席:合肥工业大学,教授, 委员:合肥工业大学,教授,
安徽大学, 副教授, 合肥工业大学,副教授,
翩:伽工业大学,≯彦杪
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学位论文独创性声明
本人郑重声明:所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行独立研究工作所取得的成果。据我所知,除了文中特别加以标注和致谢的内容外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得金目墨王业太堂或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。对本文成果做出贡献的个人和集体,
、本人已在论文中作了明确的说明,并表示谢意。学位论文中表达的观点纯属作者本人观点,与合肥工业大学无关。
学位论文作者签名:乏+够1卵a崭∥签名日期:劢,夕年卢月加日
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本学位论文作者完全了解金罡王些太堂有关保留、使用学位论文的规定,即:除保密期内的涉密学位论文外,学校有权保存并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子光盘,允许论文被查阅或借阅。本人授权合肥工业大
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学位论文作者签名:f五胡勿/ 鹕名 ,纱
签名日期:阳/垆年∥月加日 砌功 卫厂俾黼胂
论文作者毕业去向工作单位:
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致谢
时间如白驹过隙,一晃眼间度过了硕士的三年学习时间。这篇论文是我学生生涯的最后一次作业,谨以此来纪念我的学生时代。光明的未来正向我走来。
感谢高思田研究员对我在课题上的指导。硕士有将近两年的时间在中国计量科学研究院度过。在这里高老师在学习上,生活上对我都很关心。为我们提供了良好的科研环境和生活空间。在这里的两年时间我是很快乐的。在将来的工作道路上我还会继续发扬计量院人精益求精的态度。
感谢卢荣胜教授在我硕士生涯中对我的指导,卢老师严谨的治学思想,细致的工作态度,广博的知识都对我有深刻的影响。在未来的道路上我将继续学习。感谢卢老师在我硕士期间在课题上对我的帮助。
感谢李伟博士,施玉书老师,李琪博士,陶兴付博士对我在课题上的帮助。在这里和你们亦师亦友让我很快乐,大家在一起可以讨论科研问题,可以打球K 歌,生活无限美好。希望你们工作顺利。
感谢张华坤博士,李旭博士,钱晓力,李庆贤,王义旭,黄晓清同学。我们同一时间来到计量院开始研究生生活,在此即将道别。短暂的生活留下的是美好的回忆。我希望你们能前程似锦。
感谢我的家人对我的支持。研究生的生活是苦涩的,谢谢你们能支持我,相
信我选择的道路。三年的时间晃眼过去。等待我们的将是美好的明天。
作者:张明凯 2014年3月1日
摘要
现在随着半导体产业的快速发展,芯片和MEMS器件的尺寸已经从微米向 100纳米甚至10纳米量级迈进。相应的,对这些芯片和器件的检测范围也进入到纳米量级。在计量领域中,对纳米量级几何结构的高分辨率测量属于关键尺寸检测(CD MeaSurement),检测设备的准确与否对芯片晶体管以及微纳器件的性能及合格率起着关重要的作用。目前,在半导体及芯片制造中,光学显微成像方法由于高速和较高分辨率,常用于芯片尺寸的测量。而当制造工艺进入到纳米量级范围,通常的光学显微镜由于存在光学衍射极限,分辨率受到限制。
为提高对芯片和微纳器件线宽的测量能力,中国计量科学研究院正在研究一套计量型紫外光学微纳几何结构标准测量装置,该装置使用紫外光学检测设备减小对象的衍射尺寸,提高检测分辨率;使用激光干涉仪对被测线宽进行溯源。本论文依托该装置,研究一种计量型紫外光学显微镜的线宽测量方法,通过高分辨 D自动聚焦,紫外光电倍增管对线宽衍射光强的测量,