机械部分目录
1. 综述〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃1
用途
技术特征
主要技术参数
附件
2. 设备安装与要求〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃4
设备的工作环境
冷却水源与排水
电源
氩气源
泵组系统的排气管路
设备的平面布臵及厂房高度
地基构造
操作平台
设备拆箱
设备安装
3. 炉子本体的结构说明〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃7
结构简述
坩埚轴驱动装臵
主炉室
翻板阀
副炉室
籽晶驱动装臵
副炉室及炉盖升降操作
主炉室升降操作
水冷系统
使用与操作
调整
准备与试运转
4. 真空系统与充气系统〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃12
真空系统
主炉室抽真空系统
副室真空系统
真空计
密封
充气系统的使用
真空系统及充气系统的维护及注意事项
5. 维护与修理〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃13
坩埚轴驱动部件的维修
蜗轮、蜗杆减速器的维修
籽晶提拉部件的维修
伺服机组的维修
水冷系统的维修
翻板阀的维修
管道的维修
6. 拆装〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃15
坩埚轴的拆装
电极的拆装
卷丝轮的拆装
翻板阀的拆装
7. 常见故障及排除方法〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃17
真空抽不到指标
埚升不稳
埚转不稳
籽晶轴升降不稳有抖动现象
籽晶轴转动不稳〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃17
飞车
偷转
不转
重锤左右摆动
液面抖动
等径过程中出现晶体扭曲现象
计长显示不稳或不准〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃18
拉晶过程中速度记录曲线出现尖刺
欧陆表显示断偶(or)
非故障报警
加热过程中电流突然下降
加热电压加至 0V 突然回零
过流〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃19
8. DRF95 单晶炉机械部分说明书附图〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃〃20
F1 DRF95 外形图
F2 DRF95 地基图 1
F3 DRF95 地基图 2
F4 DRF95 平面布臵图 1
F5 DRF95 平面布臵图 2
F6 DRF95 单晶炉安装准备图
F7 DRF95 坩埚升降及传动机构
F8 DRF95 坩埚旋转机构
F9 DRF95 炉底板及电极结构
F10 DRF95 炉室及管道结构
F11 DRF95 主观察窗及保护窗
F12 DRF95 IRCON 控径窗
F13 DRF95 翻板阀结构
F14 DRF95 副室管道结构
F15 DRF95 副室结构
F16 DRF95 籽晶旋转机构
F17 DRF95 籽晶提升机构
F18 DRF95 主泵及除尘器机构
1. 综述
用途
DRF95 单晶炉属软轴直拉式单晶炉,它是在真空及惰性气体环境中,通过石墨电阻加
热器将多晶硅材料加
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