分子泵保养与使用和维修手册.doc

一、分子系的内部结构

    
  
    
      
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59螺帽           
二、分子泵的清洗:
一般来讲,如果说前级泵没有问题,而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气(排除其它的漏气)、或着解吸附作用降低,说明真空泵有点脏了,需要进行清洗,这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗,如果太脏的话,就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下:
,进行排气。
,注意不要碰到接口的边缘部分。
、加热器(如果有的话)等

。
,高度以前级真空接口略低为宜,如下图。

,便于分子泵的定子和转子的叶片清洗,在无水酒精中浸泡大概5~10分钟。
,加入新的无水酒精,重复前面的工作,最少要重复一次。
。
,从垂直慢慢放倒到180度,以便排除磁性轴承中的酒精。
,然后朝下放置,利用一个泵抽大概30分钟左右。注意接口的密封表面不要损坏。
,不要开分子泵,利用前级泵抽真空,达到大概10E-1左右,以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。
,接上分子泵开始工作。
注意第一次抽真空时是比较慢,这是因为分子泵中有残留的酒精,属于正常情况,不必忧虑。
三、驱动马达的检查
驱动马达的检查可以用两种方法,一个是带带驱动单元TCP时用示波器看波形。一个是不带驱动器检查线路。
带驱动单元TCP的方法操作,这里要注意一点,就是探针式的霍尔传感器是没有0电位的,所以在用示波器的时候将0V线拔掉。切记不要同时查看B1-B4、B2-B3的波形。下面是在全速旋转时检测到B1-B4或B2-B3波形。

 


  在不带驱动单元的检测方法,这个办法主要是检测、测室外部的接线和内部的适配器。
检查的时候请参考下图:


图中的标号在外部表现的颜色为:

在霍尔元件的G、F之间加上一个40MA的恒定电流,在B1-B4或B2-B3之间接入示波器或万用表。然后用手转动分子泵。如果正常的话,测室出来的电压的极性每周会变化一次。
 
四、更换轴承
在分子泵中最容易损坏的就是轴承了,所以更换轴承是一个主要的工作。更换轴承需要爱一个干净的环境中更换,我们一般更换的是马达这边的轴承。更换轴承需要一些特殊的专用工具。值得注意的是,在每次更换轴承的时候,油包也一定要更换。下面的图是一些专用工具(真实自己可以加工的)。