[管理学]毕业论文.doc

编号南京航空航天大学毕业论文题目UV-LIGA中SU-8胶的溶胀及其抑制研究学生姓名杨英杰学号050810122学院机电学院专业机械工程及自动化班级0508101指导教师曲宁松教授二〇一二年六月南京航空航天大学本科毕业设计(论文)诚信承诺书本人郑重声明:所呈交的毕业设计(论文)(题目:UV-LIGA中SU-8胶的溶胀及其抑制研究)是本人在导师的指导下独立进行研究所取得的成果。尽本人所知,除了毕业设计(论文)中特别加以标注引用的内容外,本毕业设计(论文)不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写的成果作品。作者签名:年月日(学号):UV-LIGA中SU-8胶的溶胀及其抑制研究摘要微制造技术是MEMS技术从设计转化为产品过程中最重要的环节,是MEMS技术的关键和基础。在MEMS研究领域对于非硅材料的加工,比较成功的是LIGA技术。但LIGA技术需要昂贵的同步辐射光源和特制的掩模板,而且加工周期长。因此,近年来多种基于LIGA技术的高深宽比微加工方法先后被提出并得到了重视,其中最具有实用价值的是基于SU-8胶的UV-LIGA技术。但由于SU-8胶作为一种高聚物材料,电铸时长时间浸入电铸液中,电铸液中的小分子会渗入高聚物内部而使其体积发生溶胀,严重地影响了所制作图形尺寸的可控性和精确性,它是SU-8胶UV-UGA工艺的主要尺寸误差来源,是影响高精密微器件尺寸精度的关键因素。本文通过微细电铸金结构试验,研究了SU-8光刻胶过曝光工艺及其在电铸金溶液中的溶胀性情况,分析了掩膜线宽补偿和增设隔离带方式对提高零件尺寸精度的效果。关键词:UV-LIGA,SU-8光刻胶,过曝光,溶胀性TheSwellinganditsSuppressionofSU-8PhotoresistinUV-LIGAAbstractMicro-manufacturingtechnologyisthemostimportantaspectsintheproductionprocessfromMEMStechnologyintodesign,-,,inrecentyears,avarietyofLIGAhighaspectratiomicro-machiningmethodhasbeenproposedandtakenseriously,oneofthemostpracticalvalueistheUV-LIGAtechnologywhichbasedontheSU-,duetotheSU-8Photoresistasapolymermaterial,immersedintheelectroformingsolutionforalongtimewhenelectroformed,uracyoftheproducedimagesize,itisthemaindimensionsoftheprocesserrorsourcesinSU-8PhotoresistbyUV-uracyofthehigh-precisionmicro-,thelawofswellingisobtainedbyresearchingswellingcharacteristicofSU-:UV-LIGA,SU-8photoresis,overexposure,swelling目录摘要 -ⅰ-Abstract -ⅱ-第一章绪论 -1- -1--LIGA技术简介 -2- -3--LIGA技术 -4--LIGA技术的发展现状 -6- -8- -8- -8-第二章SU-8光刻工艺及微细电铸实验 -10--8胶简介 -10--8胶光刻工艺 -11- -12- -13- -14- -15-2