电子束蒸发制备碳化硼球面涂层的表面氧化研究.pdf

万方数据
电子束蒸发制备碳化硼球面涂层的表面氧化研究��,�荆琓�����保�骕��狧�,���—��,林涛�����’��谛『�,苏明甫��肀荚�,廖志君���������快报摘要:利用电子束蒸发技术沉积制备了碳化硼微球涂层,将微球涂层依次经退火和稀硫酸腐蚀处理后得到碳化硼空心微球,并借助��蚐�对碳化硼微球涂层的表面氧化问题进行了研究.��峁�允镜背牡孜露仍��℃附近时,碳化硼涂层部分被晶化;对退火前后和酸腐蚀后的微球涂层进行��治觯�峁�砻鳎�嘶鹎暗耐坎惚砻娌糠直谎趸�葿�。,退火后��8哺窃谕坎惚砻妫�岣�纯梢匀サ鬊�。,:��校惶蓟�鹜坎悖坏缱蛹碚舴ⅲ谎趸�幌晕⒔峁�中图分类号:��文献标识码:�文章编号:��.������—��—���������������四川大学学报�匀豢蒲����.四川大学物理系和辐射物理及技术教育部重点实验室,成都���;��泄�蒲г汗�什牧衔锢碇行模�蜓�������拇↖大学高能量密度与物理技术教育部重点实验室,成都������狫��’���������℃.�������甔�����甋���年��第�卷第��������痡.��.��—��.��.�.����猋��.������:�����鎖����猻�����.����������.����������—��������������.�������,���.��,����.通讯作者国家重大科技专项子课题林涛����,,主要从事��蓟�鸢型璧闹票秆芯浚瓻—�����������.��卢铁城.�猰��簂�������畇��畉�����������.��.���������甂������,�������。�����甀����������珻�������,�������,�����甂������。�������珻���收稿日期基金项目作者简介
万方数据
一啦引言∽�盯碳化硼���亲匀唤缰杏捕冉龃斡诮鸶帐��立方氮化硼�—��牟牧希�哂懈呷鄣恪⒏哂捕取�低密度、力学性能好、耐磨性强、化学性质稳定、中子吸收截面高等优点�矗��捎谡庑┯乓斓男�能,碳化硼材料可以应用于耐磨损零件、研磨材料、轻质装甲材料等���送猓�蓟�鸹箍衫�闷���闹凶游�漳芰�吞蓟�鸬哪透呶隆⒖狗�盏�特点,在核技术领域用于反应堆的控制棒材料和堆芯的安全屏蔽材料等����票腹咝栽际�郾����咴鲆嫒剂习型璧牟牧现饕S蠧�牧稀��和碳化硼材料�����喽杂谄渌�街植牧希�蓟�,不掺杂的碳化硼有良好的内爆特征,是一种潜在的靶材材料���制备碳化硼涂层的方法很多,研究较多的主要有��痛趴亟ι鋄����捎谔蓟�鸩牧嫌�度大,熔点高,柔韧性差,制备碳化硼靶丸具有较大难度.��年美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室���的���瓸���等人采用磁控溅射法,在直径为���的空心聚苯乙烯微球上镀上了厚度����.�癿的碳化硼薄膜����欠�制备出空心碳化硼靶丸未见说明.��年范强等人采用电子束蒸发法在����牡咨现票噶颂�化硼薄膜��,证明了电子束蒸发的可行性.��年廖志君等人采用反弹盘法成功获得了球形衬底的碳化硼球面薄膜,但沉积效率低,沉积时问为�耐坎愫穸冉鑫N�.��.�痾������以上不足,本课题组借助电子束蒸发技术采用磁