磷扩散.ppt

磷扩散
太阳电池制造的核心工序
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PN结——太阳电池的心脏
扩散的目的:形成PN结
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PN结的制造
制造一个PN结并不是把两块不同类型(p型和n型)的半导体接触在一起就能形成的。
必须使一块完整的半导体晶体的一部分是P型区域,另一部分是N型区域。
也就是在晶体内部实现P型和N型半导体的接触。
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扩散装置示意图
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影响扩散的因素
管内气体中杂质源的浓度
扩散温度
扩散时间
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太阳电池磷扩散方法
(POCl3)液态源扩散


本公司目前采用的是第一种方法。
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POCl3 简介
POCl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质源
无色透明液体,具有刺激性气味。如果纯度不高则呈红黄色。
,熔点2℃,沸点107℃,在潮湿空气中发烟。
POCl3很容易发生水解,POCl3极易挥发。
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POCl3 简介
遇水蒸汽分解成磷酸和氯化氢,可致磷中毒,对皮肤、粘膜有刺激作用,短期内吸入大量蒸汽,可引起上呼吸道刺激症状、咽喉炎、支气管炎;严重者可发生喉头水肿窒息、肺炎、肺水肿、心力衰竭等危害。
接触皮肤应立即脱去被污染的衣服,要先用纸、棉花等将液体吸去,然后用大量流动的清水冲洗至少15分钟,就医。
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8
POCl3 简介
接触眼睛因立即用大量的流动的清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟,就医。
泄漏时因立即撤离污染人员至安全区,建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿防酸碱工作服,不要直接接触泄漏物。
储存于干燥清洁的仓库内,远离火种、热源。包装必须密封,切勿受潮。
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POCl3磷扩散原理
POCl3在高温下(>600℃)分解生成五氯化磷(PCl5)和五氧化二磷(P2O5),其反应式如下:
生成的P2O5在扩散温度下与硅反应,生成二氧化硅(SiO2)和磷原子,其反应式如下:
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