大型玻璃基板搬运用机器人 Artis系列Series/.4mSJ80C第6,.7mSJ120C第8,(可对应垂直放置的布局)CLEANROBOT一览CLEANROOM的对应垂直多关节型机器人ArtisSH-[rad]=180/[°],1[N･m]=1/[kgf･m] Note1)Duringdevelopment, 、允许扭矩可搬运玻璃基板等工件至空间狭小的箱体内可搭载高刚性的抓手→最大限度的控制工件的弯曲变形・震动较大的动作范围可对应次世代的大型玻璃基板的垂直放置布局较大的手臂动作范围可实现工件各种各样的姿势可实现玻璃基板的垂直型搬运等级最大的手臂弯曲轴(B轴)可实现±135°的动作范围高性能高性能控制装置(以电脑为基础的AX控制装置) 比起监视控制,震动控制等实现了大型机器人厂家机器人的动作特性特长Operationalareaincludingwristbendingaxis(B-axis)parison (+/-+/-125deg.)Differencebetween +/-+/-(23%up)(23%up)+300mmUP+parison (+/-+/-125deg.)(SH133C)
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