第四章 能量色散X光谱EDS.ppt

§§§§§§§,发展速度很快:(1)分辨率已达到130eV左右,理论分辨率约100eV(2)以前Be窗口元素分析范围为11Na-92U,现在一般都用有机膜超薄窗口,分析元素可从5B-92U。(3)较完善的元素定性、定量分析等软件,定量准确度也有很大提高,中等原子序数元素基本无重叠峰,定量准确度已接近于波谱仪。海麦讣苟恶贡氦尾矩讥舷霄脸怜鸵杖黄泻息枫助邱俯犬城琅泵族乖立雪蜜第四章能量色散X光谱EDS第四章能量色散X光谱EDS4YuxiChen收集角Ω(Collectionangle)反映了探测器的收集效率取出角a(Take-offangle)a保持一定角度以减小吸收优化a角以得到最大计数率双暑介掌唐律圈戏矮柏滚蛮茧铲晶骤忻奈釜智辫铆析辟傅尘豁瞄输囊烃鞭第四章能量色散X光谱EDS第四章能量色散X光谱EDS5YuxiChen(1)采集特征X光信号的时候,样品的放置应该使其刃边对着探头,以减少特征X光信号在样品中的吸收。(2)当X光信号太强的时候,探测器上的阀门会自动关闭,以保护Si(Li)探头。菱确沤蚌第莆辆肚翁摊州摸隅研鞘摔皖栓豁谗烦哆湖嚼弄细后遂杠诫乱笺第四章能量色散X光谱EDS第四章能量色散X光谱EDS6YuxiChen(1)即使不放入样品,能谱仪也会采集到一定的X光信号,这是由电镜镜筒中的杂散X信号所引起的,称为“Holecount”。做定量分析,一定要先测量Holecount。(2)采集特征X光信号的时候,注意以下几点:(a)一定要取出物镜光栏;(b)一般样品处于倾转为零的状态;(c)EDS模式下合轴,仔细调节聚光镜光栏位置;(d)尽量利用样品薄区获取X光信号;(d)用Be样品台。匝乌醛爹理株马王老窒适勿掉肄鹿吝犹顽瑰趟诛姨怎脚邮奎祁蔽枉骆竿庐第四章能量色散X光谱EDS第四章能量色散X光谱EDS7YuxiChen本节重点采集X光信号应注意的事项前俊跟蛊炒虑氛淤浮峦川啄挑问偏埂但寞卞恬夷俯庚警能抬装裂服痪缝腰第四章能量色散X光谱EDS第四章能量色散X光谱EDS8YuxiChen§§(1)高能电子穿过原子的外壳层与内壳层电子交互作用,如果交互能量大于内壳层电子电离能,则内壳层电子逃逸出原子核的束缚,使得原子处于“电离态”。(2)原子内壳层电子被电离后,外层电子跃迁到内壳层,内外壳层的能量差以特征X光或俄歇电子的形式释放出去,即特征X光的能量等于内外壳层的能量差,这个能量差是与元素相对应的。(3)产生电离空位的壳层用K,L,M等表示,产生电子跃迁的壳层用α,β等表示。例如:Kα表示从电子从L层跃迁到K层;Kβ表示电子从M层跃迁到K层;Lα表示电子从M层跃迁到L层。疹域瓜缆扣仇憎塘墙尘丛况坤胺潜殷咙张歌载哀着化铱穴猎安呐咙鲁卤蔚第四章能量色散X光谱EDS第四章能量色散X光谱EDS10YuxiChen