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综合样本

直线光栅尺
长度计
角度编码器
旋转编码器
轮廓加工数控系统
3D测头
数显装置

2008年10月
约翰内斯·海德汉博士公司研制生产直线光在这份综合样本中,您将了解到海德汉公司各
栅尺和角度编码器、旋转编码器、数显装置产品线的概要信息。有关特定产品的更详细信
和数控系统。海德汉公司的产品被广泛应用息,请见第52页或访问。
于机床、自动化机器系统,尤其是应用于半我们的销售人员愿为您提供全面服务。有关地
导体和电子制造业等领域。址和电话信息,请见第54页。

海德汉公司在49个国家设有分公司,其中大
多为全资子公司。我们的销售工程师和技术
支持人员提供现场技术支持和服务。
目录
基本原理和制造工艺 4
精密光栅-高精度的基础 5
长度测量 6
封闭式直线光栅尺
敞开式直线光栅尺
长度计
角度测量 20
角度编码器
旋转编码器
机床数控系统 36
铣床和加工中心用轮廓加工数控系统
数控编程站
刀具和工件设置和测量 44
刀具测头
工件测头
测量值获取和显示 46
数显装置
接口电子设备
更多信息 52
联系信息 54
基本原理和制造工艺
海德汉公司高质量产品源自专用的生产和测量
设备。生产光栅尺的母模版是在专门设计的超
净工作间生产的,它具有特殊的稳定温度和减
振措施。光刻机以及生产和测量直线和圆光栅
所需的机器大多由海德汉公司自己开发和制
造。
直线光栅尺测量机直线光栅尺检查站
我们为用户提供大量高度个性化的直线和角度
计量解决方案,充分体现我们的超强竞争能
力。在众多应用中,我们的产品还被大量应用
在标准实验室设计研制的测量和检验设备,我
们的角度编码器被应用在天文望远镜和卫星接
收天线上。毫无疑问,海德汉的标准产品也受
益于其中所积累的知识和经验。
角度比较仪," 超大天文望远镜(VLT),智利帕拉尼尔(照片由ESO提供)
4
精密光栅-高精度的基础
海德汉公司光栅尺或编码器的核心是我们
的测量基准, µm至10 µm线宽
的光栅尺。这些精密光栅尺采用海德汉公
司发明的光刻工艺生产(例如DIADUR或
AURODUR),它是光栅尺或编码器功能
和精度的决定性因素。光栅是由一系列等
间距排列的刻线和狭缝组成,其间距误差
极小,刻线边缘整齐清晰。这些光栅尺能
抵抗机械和化学以及振动和冲击的影响。
具有可定义的温度特性。
µm
DIADUR 相位光栅 MAGNODUR
DIADUR精密光栅尺在基体上沉淀一层极薄采用特殊制造工艺生产的三维结构光栅, 微米级磁膜构成的精细磁栅。
的铬,基体通常为玻璃或玻璃陶瓷。这种具有特殊的光学特性。这种结构的光栅宽
光栅尺精度可达到微米级或亚微米级。度只有几微米至四分之一微米。

AURODUR SUPRADUR
AURODUR光栅尺由高反射率的金线和亚 SUPRADUR工艺生产的光栅的光学特性类
光蚀刻的狭缝组成。AURODUR光栅尺的似于相位光栅,但它具有平面结构,因此
基体通常为钢带。抗污染能力强。

METALLUR
METALLUR光栅尺具有独特金反光层的光
学材料,接近为全平面结构。因此它抗污
染能力强。

采用不同的基体材料的DIADUR和AURODUR光栅尺
5
5 08:32:11
长度测量
封闭式直线光栅尺敞开式直线光栅尺
海德汉公司的封闭式直线光栅尺能有效防海德汉公司的敞开式直线光栅尺的读数头
尘、防切屑和防飞溅的切削液,是用于机与光栅尺或钢带光栅尺间没有机械接触。
床的理想选择。这种光栅尺的典型应用包括测量机、比较

•精度可达± 2 µm 仪和长度计量领域的精密仪器以及生产和
• µm 测量设备,例如半导体工业的。
•测量长度可达30 m •精度可达± µm或更高

•安装简单、快捷• µm(1 nm)
•安装公差大•测量长度可达30 m
•能承受大加速度载荷•读数头与光栅尺间无磨擦
•抗污染能力强•尺寸紧凑和重量轻
•运动速度快








封闭式直线光栅尺有
•标准光栅尺外壳
―用于高振动频率
―最大测量长度30 m
•纤细光栅尺外壳
―适用于有限安装空间
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