氦质谱检漏仪原理和使用方法和相关介绍PPT讲座.ppt

内容真空检漏技术氦质谱检漏仪的主要构成及作用真空学简介泵的工作原理质谱管结构及其工作原理氦质谱检漏仪的使用方法及注意事项真空检漏技术真空检漏技术就是用适当的方法判断真系统﹑容器或器件是否漏气﹑确定漏孔位及漏率大小的一门技术﹐相应的仪器称为检漏仪。在真空系统﹑容器﹑器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性﹑探查漏孔的位置﹐以便采取措施将漏孔封闭从而使系统﹑容器﹑器件中的真空状态得以维持。什么是漏及检漏的标准真空系统﹑容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊缝﹑连接处存在孔洞﹑裂纹或间隙等缺陷﹐外部大气通过这些缺陷进入系统內部﹐致使系统﹑容器或器件达不到预期的真空度﹐这种现象称为漏气。造成漏气的缺陷称为漏孔。漏孔尺寸微小﹑形状复杂﹐无法用几何尺寸表示﹐因此在真空技术中用漏率来表示漏孔的大小。漏率是指单位时间內漏入系统的气体量。用漏率表示漏孔大小时,如果不加特殊说明,×105Pa,×103Pa,温度为296士3K的标准条件下,单位时间内流过漏孔的露点温度低于248K的空气的气体量。漏率的单位是Pa·m3/s(帕斯卡×立方米/秒)压强和漏率单位换算在国际单位制中压强的单位是Pa(帕斯卡),1Pa的压强就是1m2面积上作用1N(牛顿)的力。最常用的检漏方法——氦质谱检漏法氦质谱检漏法是根据质谱分析的原理,以氦作探索气体,对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想的方法。因氦是隋性气体,对大气无污染,使用安全;氦原子量小、粘度小,易渗透过任何可能存在的漏率,检测灵敏度高、速度快、适用范围广;加之氦在大气中含量少(仅万分之五),离子质量与其它气体离子质量相差很大,不易受干扰,不会错判。与当今诸多检漏方法(如气泡法、卤素检漏法等)相比,它是佼佼者。仪器结构ZhP--30型氦质谱检漏仪由四部分组成。真空系统质谱管电子学电路机架仪器结构图:真空系统真空科学发展的历史回顾人们或许是受翻译国外书刊的影响,通常在回顾真空科学发展史时,常常误认为1643年托里析利的压力实验和1650年葛利克发明抽气机是对真空这一现象的最早发现,其实早在公元前六世纪我国在冶铁技术中即采用了风箱鼓风法,那时称风箱为“鞲鞴”。战国时期“老子道德经”一书说“鞲鞴”是虏而不屈、动而愈出”,这是利用真空吸气原理的有记载的描述。而欧州到十六世纪才发明这种设备。因此在我们回顾真空科学发展历程时,是不应当忘记我们的祖先、对人类在早期发展真空技术所做出的贡献。