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[宝典]检漏仪的应用检漏仪的应用一,为什么要检漏泄漏和密封相对应很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要先进行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。二,泄漏程度的量化,P,V容器泄漏程度的量化,用漏率来表示。漏率的定义:Q=1,t,其中:P为压强的变化量V为容器的体积,t为时间的变化量可简单理解为:单位时间内,单位体积容器,压强的变化。下面举两个例子,可以对漏率的大小有个直观的认识。例1,,,则漏率可量化为:,P,V(3200,2000)mbar,-3Q===*10mbar?l/s1,t30,24,3600s这种程度的泄漏是很严重的,这个漏率是很高的,用我们常用的检漏方法就能检测到漏点:将车胎放入水中,有气泡出来的地方就是漏点。例2,冰箱2年内,雪种泄漏了11克(分子量102g/mol),?l,则漏率可量化为:,P,,1000mbar,l-5Q===*10mbar?l/s1,t2,365,24,3600s这种程度的泄漏对冰箱来说,是很严重的,但这样程度的漏率用普通方法根本无法检出。这时就需要用到检漏仪或质谱仪来检查了。下面的内容是检漏仪的相关介绍。三,检漏仪检漏的原理有两种方式可以检测出泄漏:1,示踪气体A放在容器里面,处于正压,然后用仪器去检测,容器外围是否有气体A,大概判断泄漏如果容器外有气体A,则容器有漏。用这种方式能检测出漏点,并能的程度。这种检漏方式叫Sniffer检漏或正压检漏。2,示踪气体A喷在容器外面,用仪器去检测容器里面是否有气体A。这种方式能检测出漏点,并能测知漏率。这种检漏方式叫真空检漏。检测对象检测对象示踪气体示踪气体正压模式负压模式如何选择检漏方式,与检测对象的工作环境有很大关系,尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压,则用正压模式,如检测对象工作时内部处于负压,则用真空模式。四,示踪气体的选择对示踪气体的要求:1,无害,不能对人体或环境造成伤害2,化学性质稳定,不会起化学反应或易燃易爆3,最好是空气中没有的,只有在空气中含量尽可能少的气体,才能满足检漏灵敏度方面的要求一般检漏都用氦气(He)作为示踪气体,也有用氢气(H)作为示踪气体的。2Table1空气中主要气体的属性MeanVelocity(m/s)PartialPressure(mbar)MeanFreePaths(m?Pa)-3--3-