(三)建设项目环境影响分析 湖南省环保厅.doc株洲南车时代电气股份有限公司功率半导体重点实验室暨碳化硅基地产业化建设项目环境影响报告书(简本)建设单位:株洲南车时代电气股份有限公司评价单位:湖南省环境保护科学研究院二O—三年八月(一)建设项目概况(二)建设项目周围环境现状(三) 建设项目环境影响分析 3(四) 公众参与 5(五)环境影响评价结论(六)联系方式株洲南车时代电气股份有限公司,拟在湖南省株洲市石峰区出心工业园公司厂内的预留用地,建设功率半导体重点实验室暨碳化硅慕地产业化建设项冃,。湖南省环境保护科学研究院受株洲南车吋代电气股份有限公司委托实施该项目环境影响评价相关工作,根据《环境影响评价公众参与暂行办法》环发[2006]28号文的相关规定,特编制该项目环评简本,具体内容如下:(一)建设项目概况建设内容包括新购工艺生产设备组建4〜6英寸SiC芯片模块封装及功率器件重点实验室,新购碳化硅电力电子器件核心芯片的生产线,半导体器件生产I、II线搬迁以及相关的辅助设施等。本项冃总投资为29265万元。碳化硅项日的产品定位如下:建成碳化硅屯力屯子器件核心芯片的生产线,形成年产1万片4英寸(可扩充到6英寸)碳化硅芯片的生产能力;建成双极型烧结器件的生产线,实现年产能60万只的生产能力。半导体器件生产I、H线产能34万只/年。本项目建设期为24个月。本工程的工艺流程和产污环节如下。芯片经过清洗腐蚀、焊接、刻蚀过程,生成电力电子器件。SiC器件工艺流程包括SiCSBD和SiCMOSFET工艺流程,关键制造技术,包括:选区掺杂技术、表面度化技术、欧姆接触合金技术、刻蚀技术、可靠性分析等。本工程屈于新型电子元器件项冃,屈鼓励类项冃,项冃建设符合《产业结构调整指导目录(2011年木)》规定,符合国家的产业政策。本项目所在地是厂内的预留用地,是符合当地总体规划要求的。(二)建设项目周围环境现状拟建地环境质量较好,基本达到了相应控制标准的要求。(三)建设项目环境影响分析1、环境空气的影响分析芯片清洗腐蚀、焊接、刻蚀过程中排出的废气中含有HF、HNO3、NHs以及少量的有机废气等气体,采用洗涤塔洗涤,达到《大气污染物综合排放标准》(GB16297-96)表2中二级标准后排放。2、水环境影响分析生产废水主要为酸碱废水和含氟废水:、酸碱废水中和后,达《污水综合排放标准》(GB8978-96)—级标准后排放,排入废水管网。最终排入白石港污水处理厂。、含氟废水采用化学沉淀+絮凝气浮+生物滤池处理工艺,达《污水综合排放标准》(GB8978-96)—级标准后排放,排入废水管网。最终排入白石港污水处理厂。、厂区生活污水经排水管排入废水管网。最终排入白石港污水处理厂。综上所述,工程所排废水不会加重评价区域地表水的污染程度,也不影响其使用功能。3、I古I体废物影响因素分析工艺生产中产生的一般废物由株洲市环卫部门收集处理;危险废物,送有资质的单位处理。4、噪声影响因素分析本项冃的噪声源主要来自冷冻机、空压机、各种泵、冷却塔和空调机组。主要的设施都置于密闭的厂房内,采取相应的噪声污染防治措施后,工程噪声对环境的影响较小。2、建设项目评价范围内的环境保护目标分布情况本项目主要环境保护目标见表10和图1。表10环境保护目标一览表类别目标名称基本特点相对拟建工程方位及距离环境功能及保护级别备注环境空气1井龙村居委会约50户E
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