;万级洁净区环境监测要求监测项目技术要求监测方法监测频次温度18~28OC(十万级、三十万级)JGJ71-901次/班湿度45~65%(十万级、三十万级)JGJ71-901次/班换气次数十万级≥15次/小时JGJ71-901次/月≥5Pa(不同洁净级别洁净室(区)之间)JGJ71-90静压差≥10Pa(洁净室(区)与室外)1次/月≥5Pa(洁净室(区)之间与非洁净室(区))≥≥5μm尘埃粒子十万级≤GB/T16292-19961次/季≤20000个/m33500000个/m3浮游菌十万级≤500个/m3GB/T16293-19961次/季沉降菌十万级≤10个/皿GB/T16294-19961次/周’.;100级和10000级洁净区环境监测要求技术要求监测频监测项目监测仪器100级10000级测量位置次温度(℃)温湿度计18-2818-28洁净区各室1次/班湿度(%)温湿度计45-6545-65洁净区各室1次/班风速(m/s)水平层流≥04垂直层流≥——风速仪送风口1次/月换气次数≥20(次/h)——静压差微压差计≥5≥5不同洁净区之间1次/(Pa)≥10≥10洁净区与室外月尘埃粒子≥≥≤3500≤35000洁净区内关键操作点及100级超净工1次/季(个计数器≥5um≥5um作台/M3)0≤2000沉降菌落培养皿≤1≤3洁净区内关键操作1次/周数(个/皿)点浮游菌落浮游菌采洁净区内关键操作≤5≤100点及100级超净工1次/季数(个/?)集器作台’.
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