无尘室标准.doc

洁净室( 无尘室标准) 发布者: 北京嘉创博远净化科技有限公司发布时间: 2007 年1月 30日 Audo 下载洁净室( 无尘室) 标准(一) 洁净室之定义洁净室(Clean Room) ,亦称为无尘室或清净室。「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内, 而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化, 其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室最主要之作用在于控制产品( 如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度日及温湿度, 使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。(二) 洁净室之等级世界各国均有自定规格, 但普遍还是用美国联邦标准 209 为多, 以下仅就 209D 及 209E 和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。 209E 与 209D 等最大之不同在于 209E 表示单位增加了公制单位, 洁净室等级以‵M′字头表示,如 M1、 、 、 M3….. 依此类推, 配合国际公制单位之标准化,M 字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>= μm 之微尘粒子数目字以 10 的幂次方表示, 取指数为之, 若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间, 则以 、 、 …. 表示。美国联邦标准 FS 209D 都以英制每立方英呎为单位, 日本则是采用公制, 即以每立方公尺为单位,以 μm 微粒子为计数标准。日本标准之表示法以 Class 1, Class 2, Class 3 …… Class8 表示,最好的等级为 Class 1, 最差则为 Class 8 ,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为 10 的幂次方,取其指数而得。(三) 洁净室控管之项目 1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。 2. 能防止微尘粒子之产生。 3. 温度和湿度之控制。 4. 压力之调节。 5. 有害气体之排除。 6. 结构物与隔间之气密性。 7. 静电之防制。 8. 电磁干扰预防。 9. 安全因素之考虑。 10. 节能之考量。(四) 洁净室之分类 1. 乱流式(Turbulent Flow) : 空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级 1,000-100,000 级。优点: 构造简单、系统建造成本, 洁净室之扩充比较容易, 在某些特殊用途场所, 可并用无尘工作台, 提高洁净室等级。缺点: 乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出, 易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活, 欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。 2. 层流式(Laminar) : 层流式空气气流运动成一均匀之直线形, 空气由覆盖率 100% 之过滤器进入室内, 并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为 Class 1~100 。其型式可分为二种: (1) 水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。优