电子显微分析 SEM信号与图像衬度.ppt

第二节 SEM 信号与图像衬度一、固体样品受入射电子激发产生的各种物理信号二次电子,背散射电子,吸收电子,透射电子,特征 X射线,俄歇电子, 阴极荧光及特征能量损失电子等。二、物理信号像衬度(表面形貌衬度) 衬度:对比度;反差;亮暗差一、固体样品受入射电子激发产生的各种物理信号电子束与固体物质相互作用产生的信息示意图固体样品受入射电子激发产生的各种物理信号等离子激发人射电子引起价电子云集体振荡 SEM 信号的作用深度如图: 俄歇电子的穿透深度最小, 一般穿透深度小于 1nm ; 二次电子小于 10nm 。 1、二次电子信号被入射电子轰击出来的核外电子叫做二次电子。大部分是价电子:一个高能入射电子被样品吸收时,可以在样品中产生许多自由电子,其中价电子电离约占电离总数的 90% 。所以,在样品表面上方检测到的二次电子绝大部分是来自价电子电离。二次电子能量比较低:一般小于 50eV 电子结合能很小, 对于金属来说大致在 l0eV 左右二次电子分辨率 -6nm 二次电子探头接收到的新号仅来源于样品表面 5nm - 10nm 的深度。即:距样品表面 5nm - 10nm 的深度内二次电子的才能逸出表面, 这是二次电子分辨率高的重要原因之一。探测器(二次电子及背散射电子) 二次电子:栅网电压正300V 背散射电子:栅网电压负50V ( 阻止二次电子) 2、背散射电子信号?被固体样品原子反射的部分入射电子, 所以又叫做反射电子或初级背散射电子 3、吸收电子信号随着入射电子与样品中原子核或核外电子发生非弹性散射次数的增多,其能量和活动能力不断降低以致最后被样品所吸收。如果通过一个高电阻或高灵敏度的电流表( 如毫微安表) 把样品接地,那么在高电阻或电流表上将检测到样品对地的电流信号, 这就是吸收电子或样品电流信号。