实习技术报告.docx

Document serial number【LGGKGB-LGG98YT-LGGT8CB-LGUT-LGG08】
实习技术报告
技术报告
取片后操作
取片
时将真空笔外延片从定位边轻轻挑起，吸住它的背面，真空笔不能划过片槽内的其他位置。若片子出现滑动没有吸住，一定要将其轻推至片槽中，重新操作
取完片后，清理glovebox，将内部浮灰吸走，并用无尘布擦拭，最后将杂物拿走。
输片号
不能用手接触表面，用专用镊子夹住片子边缘3mm以内操作。
PL测试：转移片子时用镊子夹住片子边缘3mm以内操作，专用镊子不能与桌面直接接触，必须放在指定位置。
EL测试：1）转移片子时用镊子夹住片子边缘3mm以内操作，专用镊子不能与桌面直接接触，必须放在指定位置。
2）焊IN点之前，必须换上新的手套去操作，不能用戴手套的手去碰自己的脸，保证接触片子手套没有油污。
：转移片子时用镊子夹住片子边缘3mm以内操作，专用镊子不能与桌面直接接触，必须放在指定位置。
：转移片子时用镊子夹住片子边缘3mm以内操作，专用镊子不能与桌面直接接触，必须放在指定位置。
：需要真空包装。

外延片检测结果分析：正品、等外品、废品。
正品：表面为镜面，，无颗粒沉积或表面颗粒沉积总数小于等于20颗EL的WLP在440——470mm之间，强度平均值大于1500（衬底片为平面）或平均值大于2000（衬底片为图形）的外延片为正品。
等外品：位置A的外延片直接划为等外品，EL的WLP小于440nm或者大于470nm，强度平均值小于1500大于1000（衬底片为平面）或平均值小于2000大于1500（衬底片为图形）的外延片为等外品（有一项符合即可判定）；外延片测试过程中造成破裂碎片小于等于3片均判为等外品。
废品：强度平均值小于1000（衬底片为平面）或平均值小于1500（衬底片为图形）的外延片为废品（有一项符合即可判定为废品），外延片在测试过程中造成破裂碎片大于3片为废品。
正品分为以下五档：
正常（表面沾污也算正常）
点状：主要表现为外延片表面有1mm以下点状颗粒（点状可目视甄别），点状颗粒少于等于20颗视为A。
边缘毛：主要表现为外延片边缘有发毛的痕迹，图形区距离衬底片边缘一定距离，过渡区导致外延片表面有发毛现象，间距在2mm以上的（2mm以下视为A）。
雾状（发道）：主要表现为颜色较正常区域浅，不确认时可用显微镜进行观测。
发白：主要表现为正常区域的颜色白。


1）准备工作：专用、乙醇、力矩扳手一套、口罩、手套、吸水纸、铝箔、无尘布、桌布、清机用刀、专用螺丝刀、无尘布、吸尘器。
：一人操作，一人确认。
：
1）关闭所有MO源手动阀（先关开口再关出口）
2）关闭手套箱的清扫。
：
1）打开两面的手套箱面板，注意拆卸下的面板固定螺丝放入装置盒不得丢弃。
2）拆下EPITT的光纤注意光纤的进出口，用铝箔包好。注：机台无EPITT有AUBER无需拆下。
3）检查反应室灯是否完好、碟阀开合角度以及内部状态微开关是否出现松动。
4）在