高g微阵列加速度传感器系统的电气互联研究论文.pdf

论文题目高 g 微阵列加速度传感器系统的电气互联研究

学科专业精密仪器及机械
指导教师刘晓明教授
作者姓名曹始建
学号 200720801068
分类号密级

UDC 注1

学位论文


高 g 微阵列加速度传感器系统的电气互联研究
(题名和副题名)


曹始建
(作者姓名)


指导教师姓名刘晓明教授
电子科技大学成都
(职务、职称、学位、单位名称及地址)
申请专业学位级别硕士专业名称精密仪器及机械
论文提交日期 论文答辩日期
学位授予单位和日期电子科技大学
答辩委员会主席
评阅人
2010 年月日
注 1:注明《国际十进分类法 UDC》的类号。
II
独创性声明
本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研
究成果。据我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其
他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得电子科技大学或其它教育
机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何
贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。

签名: 日期: 年月日


关于论文使用授权的说明
本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文
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签名: 导师签名:
日期: 年月日
摘要
摘要
随着侵彻武器系统的发展,其中作为引信关键惯性部件的传感器也有了新的
发展要求,如:微型化、耐高冲击、散热性好、高可靠性、低成本等要求,尤其
在侵彻钻地武器系统中具备耐高冲击值的传感器至关重要。如今传统的技术手段
已经很难满足这些要求,而正在蓬勃发展的微机电系统(MEMS)技术和电气互
联技术却恰恰满足了这些要求,从而共同推动了军事科技的发展。
本论文来源于总装备部某军事预研项目,主要从事目前比较前沿的微阵列加
速度传感系统电气互联研究,主要对微阵列加速度传感器进行互联封装和机械加
固的研究,从而完成课题项目中重要的技术指标之一—达到 ×105g 加速度值,
即微阵列加速度传感器在 ×105g 的加速度高冲击环境下,封装引线的电气互联
性能正常。本论文研究内容主要包括如下四部分:
、芯
片布局、封装外壳、封装材料、引线焊接强度等。
、压力等主要影响因素
进行分析,对封装引线进行强度破坏拉伸试验,利用试验数据与计算数据进行对
比分析,对影响传感器系统的电气互联性能因素进行了改进。
,利用在加工工艺试验中数据算出的拟合公式,
根据模糊优化理论,对数据进行模糊优化,得出优化后的最佳参数,并以此作为
建立机械加固专家试验数据库的依据。
ENDEVCO2270 校准设备上进行冲击破坏试验,测试微阵列加速度传感
器耐冲击的极限性能,通过对得到的试验数据和曲线图分析,对影响试验的因素
如外壳、材料和夹具等进行改进研究,并封装一批改进后的传感器。


关键词:高 g 加速度传感器,电气互联,模糊优化,数据库,冲击试验
I
ABSTRACT
ABSTRACT
With the development of ration weapons systems, the sensor has its new
development requirements as the inertial fuse part. These requirements include
micromation, high impact resistance, better heat dissipation, high reliability, low cost,
etc., and the high impact resistance character is of critical important in ration
weapon system especially. Today, traditional techniques are very difficult to meet the