MPCVD制备多层金刚石膜.pdf

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Ｗｕｈ ａｎ Ｉｎｓ ｔ ｉｔｕ ｔｅｏｆ  Ｔ ｅｃ ｏ ｏｇｙ
硕士学位论文
ＭＰ ＣＶＤ 制备多层 金刚石膜
学科专业 ： 材料加 工工程
研 究 生 ： 陈 义
指导 教师 ： 汪建华 教授
培养单位 ： 材料科学与 工程学 院
二 〇 —ｂ 年 五 月
分类号： 学校代号：10490
学 号：201401009 密 级：公开
武汉工程大学硕士学位论文
MPCVD 制备多层金刚石膜
作者姓名： 陈义 指导教师姓名、职称：汪建华 教授
申请学位类别：工学硕士 学科专业名称：材料加工工程
研究方向：低温等离子体应用
论文提交日期：2017 年 5 月 28 日 论文答辩日期：2017 年 5 月 27 日
学位授予单位：武汉工程大学 学位授予日期： 年 月 日
答辩委员会主席：_高克林 研究员_
Preparation of multilayer diamond films by MPCVD
A Thesis Submitted for the Degree of Master
Major： Material Processing Engineering
Candidate：Chen Yi
Supervisor：Prof. Wang Jian-hua
Wuhan Institute of Technology
Wuhan, Hubei 430073, P. R. China
独 创 性 声 明
本 人 声 明 所 呈 交 的 学位 论 文 是我个 人 在 导 师 指 导 下进 行 的 研 究
工 作及 取 得 的 研 宄 成 果 。 尽 我 所知 ， 除 文 中 己 经 标 明 引 用 的 内 容 外 ，
本 论文 不包 含 任 何其 他个人 或 集体 己 经 发 表 或撰 写过 的 研 宄 成 果 。 对
。
本 文 的 研 究 做 出 贡 献 的 个 人和 集体 ， 均 己 在 文 中 以 明 确方 式 标 明 本
人完全 意 识 到本 声 明 的 法律 结 果 由 本人 承 担 。
学位论文 作者 签 名 义
扣 ｙ
ｑ 年｛ 月 日
学位论 文 版权使 用 授权书
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本 学 位论 文作 者 完 全 了 解 我校 有 关保 留 使 用 学位 论 文 的 规定 ，
艮 Ｐ ： 我 校有 权保 留 并 向 国 家 有关 部 门 或机 构 送 交论 文 的 复 印 件 和 电 子
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版 ， 允 许论文 被 查 阅 本人 授权武 汉工程大 学 研 宄 处 可 以将