电子显微镜和光学显微镜的主要差别.doc电子显微镜和光学显微镜的主要差别
答电子显微分析是利用聚焦电子束与试样物质相互作用产生的 各种物理信号，来分析试样物质的微区形貌、晶体结构和化学组成。 包括：用透射电子显微镜进行的透射电子显微分析（形貌）用扫描电 子显微镜进行的扫描电子显微分析（形貌）用电子探针仪进行的 X 射线显微成分分析（成分和形貌）。电子显微镜的特点：⑴具有在极 高放大倍率下（可以从小于 1000 倍放大到一百万倍以上）直接观察 试样的形貌、晶体结构和化学成分。⑵为一种微区分析方法，具有很 高的分辨率，成像分辨率达到 〜 （TEM ），可直接分辨原 子，能进行nm尺度的晶体结构及化学组成分析。⑶各种仪器日益向 多功能、综合性方向发展。 电子显微学和电子理论以及晶体缺陷．称 之为近代材料科学的三大支柱。电镜大体可划分为：透射电镜（TEM ） 扫描电镜（SEM ）扫描透射电镜（STEM ）电子探针显微镜（EPMA ）。 决定光学显微镜分辨率的因素是波长 入，而可见光的波长为 4000--7000? ．而分辨率大约是光波波长的一半。因此在可见光范围 内，显微镜的分辨本领极限为 200nm 左右。
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