CVD+B-%2cx-C涂层微观结构、沉积特性、晶化及氧化行为.pdf

,会因纤维和热解碳界面层的氧化而缩短使用寿命。化学气相沉积/渗透/制备的涂层/基体能在娴难趸罩猩梢禾难趸物,填封陶瓷基复合材料的裂纹和孔隙,对材料起到很好的抗氧化保护作用。坎阄Q芯慷韵螅ü圆煌粱ひ仗跫轮票傅腂涂层进行微结构分析,建立了沉积参数与产物微观结构、物相组成之间的关系;探索了粱锏木Щ把趸形!V⒀芯苛薈奈⒐劢峁购臀锵嘧槌伞Mü煌ひ仗跫轮票傅坎愕奈⒐鄯治龇⑾郑珻奈⒐劢峁怪饕S辛街郑阂恢直砻娉首┛槎积状形貌,扛撸静缓卫胩迹哂幸欢ǖ慕峋Ф龋涣硪恢直砻娉什嘶状形貌,康停杏卫胩迹坎阄7蔷坎恪⒀芯苛顺粱问氤粱镂⒐劢峁埂⑽锵嘧槌芍涞墓叵导癈的沉积机理。通过对坎愕奈⒔峁狗治龅玫剑撼粱露取痗流量比能影响沉积产物的微观结构或物相组成,而/髁勘榷猿粱锏挠跋觳幻梢酝ü街植煌幕砉探谐粱坎愕木Щ把趸形!M坎阍冢妫财妗℃、℃、℃,干氧;妗妗妫Q酰荒D服役环境,四种环境中进行处理,处理后的微观分析结果表明:在高温惰性环境中,涂层内部会生成Я:褪迹⑶宜嫖露壬撸Я3ご螅荚K厥墨化加剧;在干氧和湿氧环境中,涂层能在℃以下的温度范围内对基体材料起到抗氧化保护作用,尤其在中等温度本哂辛己玫淖杂夏芰Γ辉模拟服役环境中,坎隳诓靠赡懿⒐塾αΓ纬晌⒘盐啤关键词:碳化硼;晃⒔峁狗治本文以某粱恚豢疾榱薈要研究内容及结果如下:显;摘要
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┟:做年//月宓日羽厦门大学学位论文原创性声明本人呈交的学位论文是本人在导师指导下,独立完成的研究成果。本人在论文写作中参考其他个人或集体己经发表的研究成果,均在文中以适当方式明确标明,并符合法律规范和《厦门大学研究生学术活动规范孕》。另外,该学位论文为翁组的研究成果,获得翁组鸦蚴笛槭业资助,在笛槭彝瓿伞请在以上括号内填写课题或课题组负责人或实验室名称,未有此项声明内容的,可以不作特别声明。声明人
灼/苩加。孑年//月诸日厦门大学学位论文著作权使用声明本人同意厦门大学根据《,适用上述授权。为公开学位论文,均适用上述授权。法》等规定保留和使用此学位论文,并向主管部门或其指定机构送交学位论文ㄖ街拾婧偷缱影,允许学位论文进入厦门大学图书馆及其数据库被查阅、借阅。本人同意厦门大学将学位论文加入全国博士、硕士学位论文共建单位数据库进行检索,将学位论文的标题和摘要汇编出版,采用影印、缩印或者其它方式合理复制学位论文。本学位论文属于:.经厦门大学保密委员会审查核定的保密学位论文,于年月日解密,解密后适用上述授权。朐谝陨舷嘤ê拍诖颉啊獭被蛱钌舷嘤δ谌荨1C苎宦畚应是已经厦门大学保密委员会审定过的学位论文,未经厦门大学保密委员会审定的学位论文均为公开学位论文。此声明栏不填写的,默认声明人┟:‘
⒐劢峁碳化硼存在晶态和非晶态两种物相结构,一般来说晶态碳化硼的制备温度比非晶态碳化硼的要高,内部微观结构要均匀紧凑,硬度也比非晶碳化硼的高。晶态碳化硼的微观结构碳化硼最早于年被发现,在年时,制备和标定了緇化学计量分子式为幕衔镏钡攴奖蝗现!】。品态碳化硼存在较宽的均相区间,从富碳的浠礁慌鸬腂.【浚渲凶钗榷ǖ木褪腔,Ⅲ和斜方相平峁梗庑┙峁刮Q俏认啵谝苯鹧У南图中一般不予考虑。在碳化硼的均相区内,碳原子含量从..ケ浠碳原子含量增大时,菱面体单位晶胞内的原子数将随之下降。菱面体碳化硼的结构如图,菱面体单位晶胞中含有个原子,其中个原子构成了二十面体,ü布奂土饷嫣宥越窍呱系狟—戳谝黄穑固蓟鹁哂邢嗟蔽榷ǖ慕峁埂木褰峁埂计量比为虰的菱面体结构,碳化硼还存在四方相,,,图
非晶态碳化硼具有比晶态碳化硼更加广阔的碳硼元素比,其涂层具有菜花状的表面形貌和复杂的微观结构【D壳盎刮醇卸苑蔷蓟鸬奈⒐劢峁进行全面研究的报道。目前,对狢二元相图的研究很多,但仍有许多细节不清楚。迄今,共发现了种碳硼化合物,分别为:、、、的狢相图是研究得到的,见图,他认为,嗲Υ邮椅乱恢钡熔点,同时给出了硼的最大溶解度极限为ァ瓹二元相图‘由图可以看出,当碳含量在%时,碳化硼和石墨之间存在一个低共熔点,温度为℃;当碳含量小于ナ保嬖谝桓鲎H鄣鉖,温度为℃。从相图上证实了存在均相区范围,其碳含量从..,是具有一系列优良物理性质的非金属材料溆捕冉龃斡诮鸶帐土⒎降;稹。它的高熔点、高弹性模量、低密⒎蔷蓟鸬奈⒐劢峁⑻寂鸹衔锏南嗤、、、O直还惴航邮图轔℃厦门大学硕士学位论文
碳化硼的化学气相沉积工艺度、大中子捕获面、化学惰性、优良的热学和电学性质使其成为非常适合应用于