射线能量色散谱EDS
一、X射线能谱分析的基本原理
二、X射线能谱仪
三、利用X射线能谱对样品成分进行分析
四、X射线能谱仪的工作方式
五、X射线能谱分析的优点和缺点
光电子、荧光X射线及俄歇电子产生过程
一、X射线能谱分析的基本原理
利用一束聚焦到很细且被加速到5~30Kev的电子束,轰击用显微镜选定的待分析样品上的某个“点”,利用高能电子与固体物质相互作用时所激发出的特征X射线波长和强度的不同,来确定分析区域中的化学成分。
能方便地分析从4Be到92U之间的所有元素。
二、 X射线能谱仪
图1 X射线能谱仪
能谱仪的关键部件是Si(Li)检测器,它实际上是一个以Li 为施主杂质的n-i-p型二极管,其结构示意图如图2所示。
图2 Si(Li)检测器探头结构示意图
一个X射线的光子通过8~25m的铍窗口进入探测器后会被Si原子所俘获, Si原子吸收了入射的X射线光子后先发射一个高能电子,当这个光电子在探测器中移动并发生非弹性散射时,就会产生电子—空穴对。此时,发射光电子后的Si原子处于高能激发态,—,。
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