ICP清腔报告
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NE950清腔
清腔前准备工作
清腔使用工具：防毒面具、手套、无尘布、去离子水、内六角
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1）在MAIN界面下使用程序“cleaning”进行清洗
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2）MAIN界面下使用程序“MAINTE”进行清洗
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3）使用“Flashing”吹扫
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4）打开腔体前运行程序
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5）打开腔体
“OPEN”、“E-LID”打开腔体。把腔体盖后面的黑色销子拔起，把腔体盖向左侧推出，到位后再将销子按下。
。
、上防护罩、特种陶瓷部件、上玻璃防护板、上下固定铁圈及固定螺栓等部件拆下放在垫有无尘布的桌面上，注意轻拿轻放。
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6）用无尘布蘸少量去离子水擦拭腔体内部
用无尘布蘸少量去离子水擦拭腔体内部
在【MAINTENANCE】中点“Robot”点HOIST的↑箭头使三根针升起按顺时针方向擦拭。
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7）装机
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【MODE SELECT】点Load和unload确认无异后同时按“CLOSE ”、“E-LID”关闭腔体盖
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8)试运行
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