长产生寿命的快速测量方法.pdf

第 卷 第 期 电 子 科 学 学 刊
势差在界 面 态不变 的情况下 均 归于 平 带 电压 外 第 卷 第 期 电 子 科 学 学 刊
势差在界 面 态不变 的情况下 均 归于 平 带 电压 外 则有
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式 中 ‘ 和 分别 为半 导体表 面 单位 面积 反 型 电荷和 空 间 电荷 , 二 为氧化 层 单位 面 积 电
容 , 宙 , 为表 面势 设 外 在 电压 扫描 过程 中不 变
根据耗 尽 近 似 ,
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式 中 为 电子 电荷 , 凡 为半 导体掺 杂浓 度 , 为 空 间 电荷 区 宽度 , , 为介 电常数
将 式 代入 式 , 结 合 式 , 得
二 ‘ 。 。。 冷 。 。 ‘扣 宝等 产 生寿命的快速侧 方法
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其 中
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上 述方程 在 初 始条件 二 , 二 汤 的解 为
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这 是 描 写 瞬态 电容 随 时间变 化 的方程 式 , 产 生 寿 命 几 隐藏在其 中
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