光学材料的浅低温抛光方法音.pdf

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精密 加工 ．井获 得 很好 的面 型精 度和超 光滑� 来说．就是使被加工的光学材料和加工空间达到井�
表 面都 是很 难 的 ．近代 剐 刚趋 于成 熟的 盒刚石 切剖� 保 持所 需的低 温 ，各 种物 质在 低温 环境 中 ，随 冷臃�
技 术对 此也 无 能 为力 ．� 探 度 的不同 ，物质表 现 了不 同的特 性 ．在 低温 应用工�
对 硬臆 材 料 实 行 超 精 密加 工 并 不 断 的提 高 加� 程 的研 究 中．有 人 把环 境 温 度 低 到 ��嫩 ���卯 ℃��
工 精度 ．提 高加 工效 率 ．一 直 是我们 不断 进行探索� 称 为 普 冷 区． 把 ���� 到 �� �一���．℃ �称 为�
的 问题 ．为 此人 们把 不 同 的物理 过 程、不 同的化学� 擦冷 区 ．低 温抛光 是在 一��～ 一卯 ℃ 的 环 境 中进�
过 程应 用于 加 工工 艺 中． 如离 子束 加工 是一 种 非常� 行 的． 光学材料 在低 温状 态下 的加 工特性 是 我们耍�
好 的加 工方 法� 离子 柬抛 光 可达 到很高 的 水平 ．但� 研 究 的 ．在 低温 状态 下进行光 学抛 光 ．要 解决 低温�
这 项技 术的 开展 工作 需要 很 多 的资金 投入 和做深入� 状态 下 的抛 光楗 ，工件 和工 艺过 程 的低 温环 境等 �白�
的研 究 工作 ，本 文从 另外 角 度考 虑 问题 ，从改变加� 题 ， 由于冷 冻埠度 较棱 ，所 以我们 Ⅱ�这 种 抛 光方法�
工 环境 温度