电 子 科 技 大 学
实 验 报 告
学生姓名:鄢传宗,梁成豪 学 号:20**********,20********** 指导教师:王向展
实验地点:211楼606 电 子 科 技 大 学
实 验 报 告
学生姓名:鄢传宗,梁成豪 学 号:20**********,20********** 指导教师:王向展
实验地点:211楼606 实验时间:
一、实验室名称: 微电子技术实验室
二、实验项目名称:集成电路版图识别与提取
三、实验学时:4
四、实验原理:
本实验重点放在版图识别、电路拓扑提取、电路功能分析三大模块,实验流程如下:
电路拓扑提取
版图中元器件识别
总体布局布线观察
复查,仿真验证
电路功能分析
打印输出
五、实验目的:
了解对塑封、陶瓷封装等不同封装形式的芯片解剖的方法及注意事项。
学习并掌握集成电路版图的图形识别、电路拓扑结构提取。
(3) 能对提取得到的电路进行功能分析、确定,并可运用PSPICE等ICCAD工具展开模拟仿真。
六、实验内容:
Motic SMZ体视显微镜使用与操作练习。
2、在芯片上找出划线槽、分布在芯片边缘的压焊点、对位标记和CD Bar(特征尺寸线条)并测出有关的图形尺寸和间距。仔细观察芯片图形总体的布局布线,找出电源线、地线、输入端、输出端及其对应的压焊点。
3、判定此IC采用P阱还是N阱工艺;进行版图中元器件的辨认,要求分出MOS管、多晶硅电阻和MOS电容。
4、根据以上的判别依据,提取芯片上图形所表示的电路连接拓扑结构;复查,加以修正;应用PSPICE等电路模拟器进行仿真验证。
七、实验器材:
(1)可连续变倍体视显微镜 1台
(2)镊子、干燥器皿(含干燥剂) 1套
(3)未划片封装的圆片(含CMOS模拟电路) 1片
(4)微机 1台
八、实验步骤:
首先熟悉Motic SMZ体视显微镜的使用。
(1)接通电源,选择视野光源。该显微镜备有两种光源:透射式和入射式,芯片为不透明样片,故采用入射光源。
(2)与一般显微镜不同的是,该显微镜物镜放大倍数连续可调,便于操作;焦距的变化通过调节升降杆旋钮实现。注意调节过程中不可猛升猛降,以免损坏仪器。
2、调节可变倍物镜,将放大倍数调变至最小,再调节物镜与样品距离,至视野清晰,确定所需观察的样品位置。增大放大倍数,并调节焦距,至可在视野内清楚地看到4个电路块(Chip)。此时所见到的每块之间的沟槽即为划片槽,封装前将圆片沿此槽划开,得到单个的芯片,将各压焊点用引线引出封装就是平时所用的集成电路块。
3、
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