防静电定期检测规范.docx

防静电定期检测规范
5、作业程序
测试方法：
测试环境：
环境温度23±5»炸对湿度40%?70%o
测试仪器使用方法
（TREK520）
静电场测试仪是感应式的，该仪器表面有2个按键："POWE试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
设备仪器接地电阻：设备仪器外壳与静电接地线之间的阻抗要小于10Q。测试频率：
每月。
电烙铁：对使用中的电烙铁进行接地电阻测试，要求烙铁头与静电接地线之间的阻抗
要小于10Qo测试频率：每天。
静电接地线接地电阻：
每半年ESD专员对静电接地线的接地电阻进行检测。要求每条线都要测。测试方
法：在每条静电接地线上任意找一个点，将万用表的一端连在这个点上，另一端插在
电源地线孔里。要求电阻值小于10Qo测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
防静电工服
PE工程师或指定人员，每季度对员工的工衣用EMI-20780测试仪进行测试，要求
表面电阻1X105（KRS<1X1O9Q（上衣做点对点、袖对袖、片对片测试，裤子做裤脚对
裤脚、点对点测试），“每次全检，测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。如检
测到不合格的情况，在此防静电服的胸口处盖上“此防静电服不合格”章，并邮件通知该员工经理让其当天之内到库房更换。IPQA监督有无不合格静电服流入产线。
防静电工作台
ESD专员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次，要求表面电阻在1x
105"1X109欧姆和接地电阻在1X10八1X1（）9欧姆。每块工作台面测试3个点，将测试结果平均值记录在《ESD点检记录表格》中。
地板lIlESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试表面电阻一次，要求地板的表
面电阻在l*105"l*109Qt间。每100平米地面测5个点（对于面积小于100平方米的独立
区域如：IQC、RD实验室、来料仓，每个区域要测5个点）。测试时两个电极距离为
?1米，测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
同时由厂务或指定人员每半年测试地板的接地电阻一次，接地电阻在l*105-l*109Q
之间。测试方法：将EMI-20780的一个电极放在地板上，另一端插入电源地线插孔里。
每100平米测试1个点。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
物流器具（如：周转箱、周转车、货架）
LllESD专员负责每半年使用TREK520和EHI-20780测试仪测试一次，要求摩擦电压
小于100V,周转箱表面电阻：IXIO'Q1X109Q,每次每种器具抽检，每1条线抽检lOPcs,如果有IPcs不合格则全检。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
I11ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试一次，要求周转车，
货架表面电阻小于IXlcTQ接地电阻在lX103Q-lX109Qt间。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
腕带、工鞋性能检测
操作类员工每日进入车间前要进行手环、工鞋测试，测试结果山电脑自动保存，产线
专门人员进行存档管理；在车间办公的职员，每日上班进入车间前要进行工鞋测试，
对于有可能接触产品的职员（如生产主管、工艺、设备、质控人员）每日上班也必须
使用人体综合电阻测试仪，测试记录山电脑自动保存。如有测试不合格者需立即到
IPQA处更换。测试合格后方能进入产线。
腕带系统电阻：800KQ—10MQ；工鞋系统电阻：100KQ—35MQo
静电场检测
IIIESD专员负责每季度使用静电场测试仪（TREK520）对车间各工位的静电场强进行一次测试，并将测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
测试要求：距工作台30CM范围内，静电值要小于+/-100V
离子风机测试
山ESD专员负责每季度使用3M-718与3M-718A对车间的离子风机性能进行测试，测试内容包括“平衡电压”、“消电时间”，并将结果记录在《ESD点检记录表格》中
测试要求：测试仪器距离离子风扇正前方30厘米：合格标准:1000V降到100V的
消电时间小于3秒，平衡电压绝对值小于40V。
注：CPM要分别在正、负两种充电状态下测试
防静电工作椅子
I1IESD专员负责每月使用EHI-20780测试仪测试一次，要求表面电阻和接地电阻
都在1X1O5-1X1O9欧姆之间，。将测试结果平均值记录在《ESD点检记录表格》中。
传送带测试
由ESD专员负责每季度使用表面阻抗测试仪测试一次，要求表面电阻在1X1O5-1X1O9欧姆之间。每条传送带测试3个点，将测试结果平均值记录在《ESD点检
记录表格》中。
手腕监视器测试
曲ESD专员负责每半年使用SAML1800校正仪对手腕监视器的电容进行一次。测试不合格
立