macleod说明书.ppt

macleod说明书
软件主窗口界面
Date
8
版权所有 2004 讯技光电科技（上海）有限公司
主菜单-File
Date
9
版权所有 2004 讯技光电科技（上海）有限公司
File介绍－ New…
full * = full waves) 。
符号可以表示成一个简单的序列或重复的序列 ，如： (HL)^6 (()^2 HL)^3 (LBH)^2。
Date
24
版权所有 2004 讯技光电科技（上海）有限公司
Formula窗口
Date
25
版权所有 2004 讯技光电科技（上海）有限公司
Generate Rugate…
用这个命令容易生成一个有皱褶膜(rugate coatings)模型。
用大量的分离的变化的折射率层模拟皱褶膜的连续变化的折射率。折射率的变化用改变每层的packing density 来实现。
Generate Rugate命令可以容易地指定折射率变化，并且控制模拟皱褶结构的层的数目。
Date
26
版权所有 2004 讯技光电科技（上海）有限公司
膜层厚度(thickness)
可以是光学的(optical), 几何的(geometrical), 物理的(physical)或QWOT。
(1)物理厚度：按物理单位(通常是nm)测量的。这种厚度可以转换为晶振监控规格，或溅射线上的沉积时间，
(2) 光学厚度：物理厚度乘以材料的折射率，即光程，再除以参考波长。光学厚度乘以2p就是位相厚度(单位为弧度)。常用光学厚度，
(3)QWOT厚度：其数值为4倍光学厚度，
(4)几何厚度：物理厚度除以波长。
Date
27
版权所有 2004 讯技光电科技（上海）有限公司
光学厚度->物理厚度
Date
28
版权所有 2004 讯技光电科技（上海）有限公司
Scale Thicknesses...
偶尔有某些材料的厚度要按同样的方法改变。
当研究不均匀性时，或需要对通或禁带进行微调时，经常要这样做。
有时候要保持特殊参考波长的值，但要将所有膜层厚度按同样的比例改变。都可以用这个命令容易实现。
Date
29
版权所有 2004 讯技光电科技（上海）有限公司
Match Angle...
设计时光线都是垂直入射的，但如果是倾斜的，则需要调整相应的薄膜厚度。此命令可以自动调整这个厚度。
Date
30
版权所有 2004 讯技光电科技（上海）有限公司
Global Edit…
改变设计中的所有膜层或只改变所选择的膜层。
Date
31
版权所有 2004 讯技光电科技（上海）有限公司
Edit Materials...
可以改变设计中的材料。它只改变设计中的材料。 不改变公式中列出符号。
Date
32
版权所有 2004 讯技光电科技（上海）有限公司
Performance
设置绘图的参数。
Date
33
版权所有 2004 讯技光电科技（上海）有限公司
3D Performance...
定义3D坐标 轴。
Date
34
版权所有 2004 讯技光电科技（上海）有限公司
Plot Over
将同个设计的多根曲线画在一起。
将不同设计结果的曲线画在一起
Date
35
版权所有 2004 讯技光电科技（上海）有限公司
Table
属于只读表格。
如果需要改动，可以将Edit菜单里的Read Only复选钩去掉。
Date
36
版权所有 2004 讯技光电科技（上海）有限公司
Errors分析
Mean和standard deviation可以是 Absolute或Relative. 通常选择相对的，此时误差与膜层厚度成正比。
Date
37
版权所有 2004 讯技光电科技（上海）有限公司
Color
颜色计算的设置。
Date
38
版权所有 2004 讯技光电科技（上海）有限公司
3D Plot
画一个 3D plot。 坐标轴的具体的设置在Parameters>>3D performance里面。
Date
39
版权所有 2004 讯技光电科技（上海）有限公司
Lock/Link Menu (Design)
用于refinement 和synthesis 过程。
　Lock:如果 layer 锁定了，则不参加优化，保持其初始的厚度值。
　Unlock:取消锁定，
　Link:二个或几个膜层建立关联。
Date
40
版权所有 2004 讯技光电科技（上海）有限公司
TOOLS－Compact design
设置 最