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洁净度等级划分标准.doc


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洁净度等级标准 ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在 ~ 范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子( ~ )、超微粒子(< )和宏粒子(> )。空气洁净度分级标准: ISO14644-1 (国际标准) 空气洁净度等级(N) 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子) um um um 1um 5 um ISO Class 1 102 ISO Class 2 100 24 104 ISO Class 31 000 237 102 358 ISO Class 4 10 000 2 370 1 020 352 83 ISO Class 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29 ISO Class 61 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293 ISO Class 7 352 000 83 200 2 930 ISO Class 83 520 000 832 000 29 300 ISO Class 9 35 200 000 8 320 000 293 000 注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。空气洁净度分级标准: GB/T16292-1996 (中国标准) 粒径、数值洁净度级别尘埃最大允许数/立方米微生物最大允许数≥ ≥ 5um 浮游菌/立方米沉降菌/皿 100 级 3,500 051 10,000 级 350,000 2,000 100 3 100,

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