硅片碱液清洗机技术方案 (2).docx

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硅片碱液清洗设备技术方案书
编 制
审 核
会 签
原料加工部： 综合准备部： 安环部：
质量检验部： 液刷洗工位→压力喷淋漂洗工位→吸水辊吸水工位→风刀切液工位→下料工位
序号
工序
有效尺寸约
清洗方式
温度限制
清洗介质
传送方式
1
上料工位
L500×W600mm
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人工上料
2
热水压力喷淋清洗工位
L420×W600mm
高压喷淋
40-50℃
自来水
托辊传输
3
碱液刷洗工位
L1400×W600mm
毛刷刷洗
40-50℃
市水+碱性清洗剂
托辊传输
4
压力喷淋漂洗工位
L420×W600mm
高压喷淋
常温
市水
托辊传输
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5
吸水辊吸水工位
L350×W600mm
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托辊传输
6
风刀切液工位
L500×W600mm
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托辊传输
7
下料工位
L200×W600mm
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滑板下料
六、设备主要技术参数
1、热水压力喷淋清洗工位
有效尺寸
约L420mm×W600mm；
材 质
接受非金属材料，如PVC材质，厚度10mm；
构造形式
上下各设三道喷淋装置；
配储液槽一个，喷淋泵一台，，储液槽上方配无纺布用于拦截杂质；
工件通过的上方设压辊定位系统；
温度限制
储液槽内置加热管，加热功率约6KW，加热温度约50℃左右；
液体流向
储液槽中的市水由循环泵分别注入三道喷淋装置，喷淋后的水溶液经过无纺布过滤后流回储液槽；
2、碱液刷洗工位
有效尺寸
约L1400mm×W600mm；
材 质
槽体接受非金属材料，如PVC材质，厚度10mm；
构造形式
设上下两道刷洗装置，共4组刷辊，；
配储液槽一个，循环泵一台，，储液槽上方配无纺布用于拦截杂质；
工件通过上方设压辊定位系统；
温度限制
储液槽内设加热管，加热功率约6KW，加热温度40-50℃；
液体流向
储液槽中的清洗液经循环泵抽取进入碱液刷洗工位，碱液刷洗工位中的液体经无纺布过滤后流回储液槽；
3、压力喷淋漂洗工位
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有效尺寸
约L420mm×W600mm；
材 质
接受非金属材料，如PVC材质，厚度10mm；
构造形式
上下各设三道喷淋装置；
配储液槽一个，喷淋泵一台，，储液槽上方配无纺布用于拦截杂质；
工件通过的上方设压辊定位系统；
液体流向
自来水干脆注入第三道喷淋装置，经第三道喷淋后的水溶液经无纺布过滤后干脆流进储液槽，储液槽中的水溶液由循环泵抽取后分别注入第一道和其次道喷淋装置，第一道和其次道喷淋后的水溶液由无纺布过滤后流回储液槽；储液槽中多余的水溶液通过溢流口干脆排进废液管道。
4、吸水辊吸水工位
有效尺寸
约L350×W600mm；
材 质
接受非金属材料，如PVC材质，厚度10mm；
构造形式
共