、目的:
预防半导体电子元器件,因静电引起的破坏及产品不良。
、适用范围:
1、此文件适用于PKS有可能因静电产生而引起的产品不良的所有生产线或搬运、库存设施等。
、责任及实施:
1、 生产技术课
a、 静电防止管理体系的文件制、目的:
预防半导体电子元器件,因静电引起的破坏及产品不良。
、适用范围:
1、此文件适用于PKS有可能因静电产生而引起的产品不良的所有生产线或搬运、库存设施等。
、责任及实施:
1、 生产技术课
a、 静电防止管理体系的文件制定及更改。
b、 定期检查(周期为6个月)总接地线(接地地桩)的接地电阻值,应小于或等于4欧姆,
否则及时维修。检查方法见《地线定期检查表》。
2、 制造部门
a、用表面电阻测试仪定期(每个月)对生产线工作台面上的防静电台面垫作定期检查,对每 张台面垫必须测试不同的3点,正常表面电阻应在1 O^Q^IO11,并对台面垫与地线之间 的连线组件一同检查,电阻值应在1MQ±1O%,否则更换,并将检查结果记录在《防静电 台面垫/接地组件定期检查记录表》中。
防静电接地系统各部份名称见下图:
保无开路,并将检查结果记录在《接地带确认表》中。操作员工所穿静电鞋用静电鞋测试 仪进行检查,并将检查结果记录在《静电鞋确认表》中。
c、接地带测试器要每月定期用样品校验,确保处于良好测试状态,将校验结果记录在《接地 带测试器定期检查记录表》中。
d、确保所有的生产设备的外壳必须可靠接地。
e、总接地线连接良好并可靠接地,对有必要安装自动地线监视器的生产线,当发生监视器报警
时要立即维修。
3、生产管理部:
当新购入有防静电要求的包装材料,库存、搬运设施等时,必须进行表面电阻测试,确保符
合防静电要求(106<Q<10")o
四、记录:
a、 附表1《地线定期检查表》由生产技术课保存。
b、 附表2《接地带测试器定期检查记录表》由制造部门保存。
c、 附表3《接地带确认表》由制造部门保存。
d、 附表4《静电鞋确认表》由制造部门保存。
f、附表5《防静电台面垫/接地组件定期检查记录表》由生产技术课保存。
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