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微电化学传感器和用于运行微电化学传感器的方法
微电化学传感器和用于运行微电化学传感器的方法
微电化学传感器和运行微电化学传感器的方法。微电化学传感器至少具有隔膜、桥接片、第一电极和第二电极。隔膜具有第一子面和第二子面。隔膜至少在第一子面具有步骤:检测在第一电极和第三电极之间的电容的变化，以便在使用该变化的情况下测定隔膜的偏转。第三电极可以布置在在隔膜上不透流体地封闭的室或腔中。通过在隔膜的第一侧和隔膜的第二侧上的压力之间的压力差，隔膜可以从静止位置被压向第三电极或被压离第三电极。通过在电极之间的变化的间距，得出由第一电极和第三电极构成的电容器的电容的变化。在此，如果电极之间的间距减小，则可由电容器存储的电荷量可以升高。该间距近似线性地影响电容。
[0012]该方法可以具有步骤:在使用偏转的情况下确定对隔膜的压力。该压力可以是对隔膜的第一侧的第一绝对压力和对隔膜的第二侧的第二绝对压力之间所得出的差压力。通过该差压力使隔膜变形。可以在使用隔膜的所储存的机械特性的情况下确定该压力。
[0013]电压可以被施加预定的持续时间。替换地或补充地，电压可以被施加直至偏转大于预定的值。通过限制持续时间和替换地或附加地限制偏转，可以避免对隔膜的损坏。电压可以在预定的间歇之后重新被施加。如果偏转小于另一预定值，则同样可以重新施加电压。
[0014]该方法可以具有测量步骤，其中测量在第一电极和第二电极之间的电压，以便检测第一电极处离子的第一浓度与第二电极处离子的第二浓度的第一比例。替换地或补充地，可以测量在第三电极和第四电极之间的电压，以便检测第三电极处离子的第一浓度与第四电极处离子的第三浓度的第二比例。当不施加泵浦电压时，该电压可以被测量。在可彼此无关地开关的电极对情况下，在第一和第二电极处可以施加泵浦电压，而在第三和第四电极之间的电压被检测。正好相反地，在第三和第四电极处可以施加泵浦电压，而第一和第二电极之间的电压被检测。尤其是，隔膜之一可以具有扩散部位。原子可以通过腔中的提高的压力扩散穿过扩散部位。因此可以通过泵浦、也为间隔式泵浦将隔膜之间的其他化学物种的浓度降低到鉴定阈之下。于是可以通过泵浦电压提供参考流体并且在使用参考流体的情况下确定化学物种之一在要测量的流体中的绝对浓度。
[0015]此外，介绍用于制造具有预定层厚的薄层的方法，其中该方法具有以下步骤: 提供第一电极，其中电极至少在薄层的子区域上延伸；
将薄层的第一子层沉积在薄层的面上，其中第一子层比预定层厚薄地被沉积；
在使用第一电极和第二电极的情况下测量薄层的当前层厚，其中第二电极临时地被直接布置在薄层的与第一电极对置的侧上；和
将第二子层沉积在第一子层上，其中第二子层以在使用当前层厚和预定层厚的情况下所测定的剩余层厚被沉积，以便制造具有预定层厚的薄层。
[0016]沉积可以被理解为再升华或浓缩。沉积也可以以化学方式例如通过沉淀进行。沉积可以在使用气相沉积工艺的情况下进行。例如，可以使用化学气相沉积工艺和替换地或补充地使用物理气相沉积工艺。当前层厚可以以电的方式来确定。第二电极可以沉积在薄层上，以便非常准确地测定当前层厚。第二电极也可以被压制到薄层上。由此，第二电极可以简单地再次被去除。
[0017]桥接片可以被构造为栅格。第一子面和第二子面可以被桥接片包围。