传感器实习报告.docx

天津城建大学
实习报告
生产实习
起止日期：
2015 年9 月7 日至2015年 10月2 日
学
生 姓名
班
级
成
绩
指导教师（签字）
控制与机械工程学院
2015 年 10 月 2日
目录晶体中发现的，在一定的温度范 围之内，压电性质一直存在，但温度超过这个范围之后，压电性质完全消失（这个高温 就是所谓的“居里点”）。由于随着应力的变化电场变化微小（也就说压电系数比较低）， 所以石英逐渐被其他的压电晶体所替代。而酒石酸钾钠具有很大的压电灵敏度和压电系 数，但是它只能在室温和湿度比较低的环境下才能够应用。合理进行压力传感器的误差 补偿是其应用的关键。压力传感器主要有偏移量误差、灵敏度误差、线性误差和滞后误 差，本文将介绍这四种误差产生的机理和对测试结果的影响，同时将介绍为提高测量精 度的压力标定方法以及应用实例。
目前市场上传感器种类丰富多样，这使得设计工程师可以选择系统所需的压力传感 器。这些传感器既包括最基本的变换器，也包括更为复杂的带有片上电路的高集成度传 感器。由于存在这些差异，设计工程师必须尽可能够补偿压力传感器的测量误差，这是 保证传感器满足设计和应用要求的重要步骤。在某些情况下，补偿还能提高传感器在应 用中的整体性能。
本文以本公司的压力传感器为例，所涉及的概念适用于各种压力传感器的设计应 用。
本公司生产的主流压力传感器是一种单片压阻器件，该器件具有 3 类：
1、基本的或未加补偿标定；
2、有标定并进行温度补偿；
3、有标定、补偿和放大。
偏移量、范围标定以及温度补偿均可以通过薄膜电阻网络实现，这种薄膜电阻网络 在封装过程中采用激光修正。
该传感器通常与微控制器结合使用，而微控制器的嵌入软件本身建立了传感器数学 模型。微控制器读取了输出电压后，通过模数转换器的变换，该模型可以将电压量转换 为压力测量值。
传感器最简单的数学模型即为传递函数。该模型可在整个标定过程中进行优化，并 且模型的成熟度将随标定点的增加而增加。
从计量学的角度看，测量误差具有相当严格的定义：它表征了测量压力与实际压力 之间的差异。而通常无法直接得到实际压力，但可以通过采用适当的压力标准加以估计， 计量人员通常采用那些精度比被测设备高出至少 10 倍的仪器作为测量标准。
由于未经标定的系统只能使用典型的灵敏度和偏移值将输出电压转换为压力， 测得的压力将误差。
这种未经标定的初始误差由以下几个部分组成：
偏移量误差。由于在整个压力范围内垂直偏移保持恒定，因此变换器扩散和激 光调节修正的变化将产生偏移量误差。
灵敏度误差，产生误差大小与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值，灵 敏度误差将是压力的递增函数(见图 1)。如果灵敏度低于典型值，那么灵敏度误差将是 压力的递减函数。该误差的产生原因在于扩散过程的变化。
线性误差。这是一个对初始误差影响较小的因素，该误差的产生原因在于硅 片的物理非线性，但对于带放大器的传感器，还应包括放大器的非线性。线性误差曲线 可以是凹形曲线，也可以是凸形曲线。
滞后误差：在大多数情形中，滞后误差完全可以忽略不计，因为硅片具有很 高的机械刚度。一般只需在压力变化很大的情形中考虑滞后误差。
标定可消除或极大地减小这些误差，而补偿技术通常要求确定系统实际传递函数