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电子显微镜
人眼的分辨:~
借助光学显微镜:  m
光学显微镜分辨率:/NA

能否再提高:  可以
NA
电子显微镜
缩短波长:  短波光辐射和带电粒子
德布罗意假设:   粒子的波粒电子显微镜
人眼的分辨:~
借助光学显微镜:  m
光学显微镜分辨率:/NA

能否再提高:  可以
NA电子显微镜
缩短波长:  短波光辐射和带电粒子
德布罗意假设:   粒子的波粒二象性
运动微观粒子的波长
=h/mu
对电子来说:  m是电子的质量, u是速度不同加速电压下电子波的波长
当加速电压U是100kV时,,
是可见光波长的十万分之一
因此,用电子束作照明源,可极大地提高显微镜的
分辨率,这是电子显微镜的理论基础
加速电压(kV)电子波长(nm)




,可以
起到透镜的作用,解决了电子束聚焦问题,
使电子显微镜制作成为可能
1932年,德国的Knoll和Ruska首先造出了电子
显微镜,分辨率达到200nm,1934年他们把分
辨率提高到50nm。
1940年左右,出现了分辨率在10nm的商品电镜电子透镜是能产生旋转对称场的电极系统或线圈,
它们对电子束有聚焦作用,如同玻璃光学透镜对
光线具有聚焦作用一样
有两种形式的电子透镜
静电透镜和磁透镜静电透镜
电场对带电粒子的作用力为: 
F=qE
电子在静电场中的运动,  其运动规律与普通光
学系统中光线的传播规律相类似双圆筒静电透镜示意图与旋转弯曲电场对电子束有聚焦作用类似,旋
转对称磁场对电子束也有类似的会聚作用
电子受力分析电子显微镜
热阴极发射:在外场作用下,被加热到很
高温度的金属或某些化合物会发射电子,
即热电子发射。
阴极材料应具有尽可能高的熔点和低的逸出功
W,Ta 钽 ,Re铼 和 LaB6六硼化镧第二章  电子显微镜
电镜结构:真空系统
镜筒内必须保持高真空
避免电子束与空气分子碰撞、高压放
电、灯丝氧化、试样污染
真空度:10-3~10-4Pa
真空系统:机械泵+分子泵或扩散泵
机械泵:前级泵,10-1Pa,热电偶真空计
分子泵:高真空泵,10-4Pa,电离真空计透射电镜应用第二章  电子显微镜
第十一节   扫描电子显微镜(SEM)主体结构扫描电子显微镜(SEM)试样制备
电荷积累,对不导电物体镀导电膜,
用导电胶将样品粘在样品架上。300700
SEM micrograph of a micromachine铝铜合金像: 亮的为铝, 暗的为铜, 背散射电子像