最新台阶仪操作规范.doc

质量管理部

台阶仪操作标准
编制:
审核:
批准:
发布日期:实施日期:
XS/WI-ZJ022(005)台阶仪操作标准A/0
1〔共6页〕
1目的
。
2适用范围

质量管理部

台阶仪操作标准
编制:
审核:
批准:
发布日期:实施日期:
XS/WI-ZJ022(005)台阶仪操作标准A/0
1〔共6页〕
1目的
。
2适用范围
。
3职责
;使用过程中如出现异常情况,那么使用人员必须停止使用并马上通知理化室相关人员。
4工作内容

,确认无接口松动。
。
(黑色盒子),释放EPO红色按钮〔箭头方向〕,按下白色开机键,翻开仪器。
,进入测试界面。

。
,再按下红色按钮〔emergencyoff键〕。关闭仪器电源盒。
。
注:以上流程必须严格按规定进行,否那么仪器会因为不能初始化而造成测量数据不准确现象和损坏仪器的风险!

,放置好样品,点击载入样品,然后点击
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,保证探针能落到样品外表,如果测量点与探针在样品的位置有差异,点击,微调样品的位置,点击,待探针落到测量的位置,点击开始测量分析,

翻开操作界面,在下面栏中设置参数。
通常需要设置的有Length〔扫描长度〕,Duration〔扫描时间〕,扫描速度在20~50μm/s之间〔由扫描长度除以扫描时间得到〕比拟适宜,如果样品粗糙,保持20μm/s左右,这样可以防止碰坏探针。最后点击开始测量。StylusType〔探针曲率半径〕改成2μm
测量结果分析如图:
先进行水平调节,点击lever-two选项,再在右边点击右键,选择AddASH,得到台阶高度〔膜厚〕
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(1)首先重复单次测量过程,建立模板高级选项.
a点击在桌面上建立一个文件夹,翻开后输入文件名,
b点击进入设置界面,点击AdvancedOptions选项得到如下界面。
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c在Measurements位置处输入需要测量的次数,在Start