电子显微镜.pptx

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第一节:引引言
第二节:电电子透镜
第三节:透透射电子显显微镜总体体结构
第四节:电电子与物质质相互作用用
第五节原原子受受激后的弛弛豫过程
第七节透透射射电镜的成成像衬度
第六节电电子子束产生的的其他效应应
第九节透透射射电镜应用用
第十节电电子子图象的分分析
第十一节扫扫描描电子显微微镜(SEM)主体体结构
第十二节扫扫描描电子显微微镜(SEM)探测测器
第二章电电子显微微镜
第十六节扫扫描描电子显微微镜(SEM)应用用
第十五节扫扫描描电子显微微镜(SEM)试样样制备
第十四节扫扫描描电子显微微镜(SEM)的特特点
第十三节扫扫描描电子显微微镜(SEM)衬度度
第十七节扫扫描电电子显微镜镜操作
第二章电电子显微微镜
第一节引引言言
人眼的分辨辨:~
借助光学显显微镜:m
能否再提高高:可可以
光学显微镜镜分辨率:/NA

NA
关于分辨率率
第二章电电子显微微镜
第一节引引言言
缩短波长:短波波光辐射和和带电粒子子
德布罗意假假设:粒粒子的波粒粒二象性
运动微观粒粒子的波长长
=h/mu
对电子来说说:m是电子的的质量,u是速度
第二章电电子显微微镜
第一节引引言言
初速度为零零的电子在在电位零到到U内加速速,获得得的速度为为
当速度u远远小于光速速c时为:
当速度u与与光速c可可比时为:
第二章电电子显微微镜
第一节引引言言
不同加速电电压下电子子波的波长长
加速电压((kV)
电子波长(nm)
20
30
50
100
200





第二章电电子显微微镜
第一节引引言言
当加速电压压U是100kV时时,,是可可见光波长长的十万分分之一
因此,用用电子束束作照明源源,可可极大地提提高显微镜镜的分辨率率,这这是电子显显微镜的理理论基础
怎样实现?
观察:荧光光物质和胶胶片
成像问题::聚焦与放放大
第二章电电子显微微镜
第一节引引言言
1926年年,法国国物理学家家Busch提出了了关于电子子在电磁场场中运动的的理论,指出:具有旋转对对称性的电电磁场对电电子来说,可以起起到透镜的的作用,解解决了了电子束聚聚焦问题,使电电子显微镜镜制作成为为可能
1932年年,德德国国的的Knoll和和Ruska首首先先造造出出了了电电子子显显微微镜镜,,分分辨辨率率达达到到200nm,,1934年年他他们们把把分分辨辨率率提提高高到到50nm。。
1940年年左左右右,,出出现现了了分分辨辨率率在在10nm的的商商品品电电镜镜
第二二章章电电子子显显微微镜镜
第一一节节引引言言
50年年代代,,扫扫描描电电镜镜和和电电子子探探针针得得到到了了迅迅速速发发展展。。
70年年代代后后期期,,透透射射电电镜镜和和扫扫描描电电镜镜各各取取对对方方的的长长处处发发展展成成为为透透射射扫扫描描电电镜镜,,由由于于它它兼兼有有图图象象、、结结构构和和成成分分三三方方面面的的分分析析功功能能,,被被称称作作分分析析电电镜镜。。
近年年来来,,在在扫扫描描电电镜镜基基础础上上,,发发展展起起来来扫扫描描俄俄歇歇电电子子显显微微镜镜。。