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/UI,COPY,SAVE,JPEG,GRAPH,COLOR,REVERSE,PORTRAIT,no,100
组合所选面,并命名为CHAMBEA
CM,CHAMBEA,AREA
设置薄膜应力计算路径
PATH,SET1,2
PPATH,1,312606节点位置
PPATH,2,312602节点位置
PRSECL,-1
!选择A腔室
FLST,5,37,5,ORDE,31
FITEM,5,2
FITEM,5,12
….
ASEL,S,,,P51X
CM,CHAMBEAA,AREA
!对A腔室施加载荷
CMSEL,S,CHAMBEAA
SFA,ALL,1,PRES,PCOM
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