CT_PECVD培训To Power Our Future
PECVD岗位培训教材
电池设备部
上饶晶科光电高科技有限公司
2017/12/6
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参数的影响
工艺文件名
型号
沉积时间
用途
125单晶
900s
生产
125单晶
运行时输入(默认900秒)
工艺调试/生产
125多晶
720秒
生产
125多晶
运行时输入(默认720秒)
生产/工艺调试
156单晶
900秒
生产
156单晶
运行时输入(默认900秒)
生产/工艺调试
150、156多晶
720秒
生产
150、156多晶
运行时输入(默认720秒)
生产/工艺调试
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沉积时间的不同膜厚也是不一样的要根据镀膜的颜色来
适当的增加或减少它的沉积时间,片子发白要减少沉积
时间,如偏红则要适当的增加。每一舟片子要全面的
确认,不允许把不良品流入到下道工序,如色斑、水印
镀膜不良,应及时挑出做返工处理。
参数的影响
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Handing界面的介绍
Arm的位置(Paddle,Middle
storage)其余显示均为错误
桨的信息:free 无舟
occupied 有舟
机械臂上石墨舟的感应器
empty:无舟
occupied 有舟
石英管信息显示
ready:准备状态
not ready :运行状态
机械臂运行状态
free:运行
lock:锁定
显示存储架的存储信息
机械臂目前所的位置
PECVD岗位基本操作及注意事项
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BOAT信息设置方法介绍
BOAT信息的设置将直接影响机械臂的自动运
行是否正常。
舟号:点击过后可对BOAT信息设置
运行状态
桨号
管号
工艺号
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设定实际信息,选择此项后可对信息进行修改
或重新设定。点击取消"√"后,才可选择
下面一项。
删除此舟的信息
点击进入下一步
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舟号
硅片规格
此舟的起始位置,一般固定为
Storage1,不做修改。
管号,选择需要在哪管进行工点"…“
下拉键进行选择,选择
"Automatic"为自动选择管号
此步设置结束后按此键进行下一步设
定
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此舟的当前实际位置
类型:晶片(一般情况下不作修改
舟的负载类型:晶片工艺(一般不作修改
舟当前的运行状态
(1)no change 不选择,一般舟在
storage 1时选择此项
(2)cooling end 冷却结束,等待卸舟
(3)wait for end process 等待工艺结束
(4)wait for tube 等待管子空闲,一般
舟在storange 1,2时选择此项
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工艺号选项,选择当前需要进行的或者已经
在进行的工艺号,后面"Recipe error"
前面若是有红色"X"请点击后取消它
输入操作人员的姓名拼音首写字母
按下"Finish"键后完成所有设定
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如果出现下列的信息,就表明你设定的信息
系统可以接受,但是你必须对你所设定的信息
再次进行确认,如果不能显示此信息,就说明
你设定的是错误的,系统将会自动跳转到你
设定错误的那一步,要求你重新进行设定。
完全确认后,点击“ok”后设定结束,返回
主界面。
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