电子显微分析
透射电子显微镜的结构
TEM概述
分辨率高
放大倍数高
照明源为聚焦电子束
成像信号为透射电子
试样为薄膜(几十到几百nm)
工作原理:
聚焦电子束作照明光源:电子枪产生的电子束,经1-2级聚光镜会聚后,均匀地照射试样上的某一待观察的微小区域上。
透射电子作为成像信号:电子束与试样作用,试样很薄——透射电子——其强度分布与试样的形貌、组成、结构对应。
透射出的电子经一系列透镜放大投射到荧光屏上。
荧光屏把电子强度分布转变为可见光强度分布———图像(阴极射线发光过程)
工作过程概括: ①电子枪发出电子束→②经会聚透镜会聚→③照射并穿透试样→④经物镜成像→⑤中间镜投影镜放大→⑥电子显微像(屏或底片)
透射电镜的结构
分辨本领高,且能够作电子衍射
TEM与光学显微镜的比较
电镜
光镜
射线源
电子束
可见光
介质
真空
空气
透镜
磁场
玻璃
放大倍数
几十至几百万倍
约1000倍
放大作用
改变透镜电流或电压
变换物镜或目镜
最佳分辨率
~2 Å
~2000 Å
操作与制样
复杂
简单
电子光学成像系
真空系统
电气系统
ai F20 型TEM外观结构说明
JEM-2010F型TEM主体剖面图
发叉式钨丝阴极三级电子枪
(1) 电子枪 (2) 聚光镜
(1)电子枪——产生电子束
LaB6阴极电子枪
场发射电子枪
用于超高压电镜(>1000kV),亮度大,能量分散性小,有利于提高分辨率。
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