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真空泵简介
设计三室
真空泵
真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。
可定义为:利用机械、物理、化学等方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速可从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。
真空泵广泛用于机械、化工、低温设备、电子行业、冶金、石油、矿山等领域。
真空泵的性能指标
抽速
单位时间内,真空泵吸入口在吸入状态下的气体体积量(吸入压力和温度下的体积流量),单位是m³/h、 m³/min。
抽速与吸入压力有关,吸入压力愈低,抽气速率愈小,直至极限真空时,抽气速率为零。
真空泵的性能指标
极限压力(单位:Pa)
泵装有标准试验罩并按规定条件工作,在不引入气体正常工作的情况下,趋向稳定的最低压力。即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的最低的稳定的压力。
真空泵分类
按其真空度可以分为:粗真空、高真空、超高真空三大类。
粗真空: 760~10托;
低真空: 10~10-3托;
高真空: 10-3~10-8托;
超高真空:10-8~10-12托,
极高真空:10-12托以下
(1标准大气压=760托,1托=133Pa)
真空泵分类
按其工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型。
气体输送泵
使气体不断的吸入和排出,以达到抽气目的。
气体捕集泵
使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小容器内的气体分子数目,达到抽气目的。
气体捕集泵
1、吸附泵 主要依靠具有大表面的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气。
 2、吸气剂泵 利用吸气剂以化学结合方式捕获气体。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。
气体捕集泵有以下几种型式:
气体捕集泵
3、吸气剂离子泵 使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上,以达到抽气的目的。它有如下几种型式:
 (1)蒸发离子泵:吸气材料以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁,吸附泵内被电离的气体,以实现抽气。 (2)溅射离子泵:吸气材料由阴极连续溅射散出来,吸附泵内被电离的气体,以实现抽气。
4、低温泵 利用低温表面捕集气体的真空泵。
气体输送泵
1、旋片式真空泵
3、往复式真空泵
5、滑阀式真空泵
7、干式真空泵
9、分子真空泵
11、复合式真空泵
13、气体喷射泵
15、扩散泵等。
2、水环式真空泵
4、定片式真空泵
6、余摆线真空泵
8、罗茨真空泵
10、牵引分子泵
12、水喷射真空泵
14、蒸汽喷射泵
真空泵油
极低的蒸气压
这是真空泵油的最重要的性能,由于真空泵要求真空度很高,一般用石蜡基窄馏分润滑油,对于扩散真空泵,还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。

合适的粘度和良好的粘温特性
真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用,要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。
真空泵油作为获得真空的介质,还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。对于真空泵油,有如下要求: