匀胶机说明书.doc

匀胶机使用说明书
中国科学院微电子研究所
一、概述
KW型匀胶机适用于半导体工艺,制版及表面涂覆等工艺。
匀胶机稳定的转速和快速的启动,可以保证胶厚度的一致性和均匀性,为此,该机采取了如下措施:
定子和转子分开供电。定子用稳压电源供励磁电流,转子用开关电源调速,它比用可控硅调速优越得多,转速在1000-8000转/分范围内非常稳定。
匀胶机有两个转速。在启动之后,先以低速运转,使胶摊开,然后自动变到高速运转。两转速及相应的时间分别可调。
本匀胶机测速采用光电的方法,在光电测速盘的边上有三个缺口,光电盘下面装有光电开关。当光电盘缺口转到光电开关上方时,光电开关的接收器没有信号,当光电盘的反射板(缺口以外的其余部分)转到光电开关上面时,光电接收器便接收到信号产生一个脉冲,光电盘旋转一周,光电接受器便接收到三次信号,因而产生三个脉冲。闸门由秒脉冲电路产生,周期为2秒。当马达旋转时,如果计时器在2秒内计得的数是n,则每秒钟应该转了n/(2×3)=n/6转,每分钟旋转(n/6)×60=10n转。故计数器就是每分钟转速,只不过差一个数量级。
匀胶机的定时功能由时基电路556来完成,把556按单稳形式连接,改变RC常数,就可以改变两个匀胶时间。在安装结构上,采取了减震措施,在运转时噪音很低。
主要性能
特点是双转速匀胶机,两档转速及其匀胶时间分别连续调节,在启动后先低速运转,经几秒钟后自动转换到高速运转。
Ⅰ档转速:500-2000转/分
Ⅰ速匀胶时间:2-18秒
Ⅱ档转速:1500-8000转/分
Ⅱ速匀胶时间:3-60秒
2. LED数字显示,转速稳定度±1%,胶的均匀性±3%。
3. 体积小,重量轻,操作方便。
4. 电机功率:40W。
5. 适用于φ5至φ100mm硅片及其它材料等匀胶。
三、控制件功能说明
:控制220伏电源的通断。
:调节匀胶转速。
:在启动后,定时时间未到,需立即停止而又不能停止吸片,此时只要抬起该键便可停止匀胶。
:按下时吸住片托上的片子。为避免操作上的错误,“吸片”键具有联锁功能,不吸片则电机不转。“吸片”键抬起后匀胶也就停止。
:启动电机。必须在“控制”键和“吸片”键都按下时才能启动运转,否则虽按了“启动”键仍不能运转。
:调节匀胶时间长短,时间分别控制在1-18秒和3秒-1分钟,其所指刻度与实际时间相近。
(后):插入220V电源线。
(后):安装φ5×20-1A保险管。
(后):连接到抽气泵。气泵的抽速1升/秒。
四、操作步骤
,(略小于样片尺寸)将缺口对准螺钉。片托安装时一定要到底。
,按下“控制键”。
。转速Ⅰ为低速,转速Ⅱ为高速。
,要注意放正。
“吸片”键开始抽气。注意在按“吸片”键之前,转速电位器上的指示灯不应亮。
“启动键”,马达先以低速旋转,数字稳定后为实际转速,如:。
,动作要快些,要在低转速时间内滴胶完毕,然后匀胶机变为高速匀胶。若不知道匀胶机是在低速还是在高速运转,可以从电位器上面的指示灯来判断,红或黄色为低速,绿