注明掺镓体系的硅料标识
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长晶工序
是否是晶棒
切断工序
合格圆棒
头料分级
尾料分级
吊肩料、埚底料分级
粘胶工序
合格方棒
切片工序
合格硅片
预清洗工序
合格硅片
清洗工序
合格硅片
合格方棒
副产品做好掺镓标识入二级料仓库
腐蚀工序
三级料仓库
开方工序
边皮、头料、尾料依据电阻率分档
头料、尾料依据电阻率分档
依据电阻率分档
依据电阻率分档
依据电阻率分档
NO
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YES
NO
NO
NO
NO
NO
甩干工序
合格硅片
成品检验工序
是否返工
返回清洗工序
合格硅片
做好标识入二级仓库
做好掺鎵标识入成品仓库
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NO
NO
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