电子显微镜.ppt

第二部分电子显微镜
第一节:引言
第二节:电子透镜
第三节:透射电子显微镜总体结构
第四节:电子与物质相互作用
第五节原子受激后的弛豫过程
第七节透射电镜的成像衬度
第六节电子束产生的其他效应
第九节透射电镜应用
第十节电子图象的分析
第十一节扫描电子显微镜(SEM)主体结构
第十二节扫描电子显微镜(SEM)探测器
第二章电子显微镜
第十六节扫描电子显微镜(SEM)应用
第十五节扫描电子显微镜(SEM)试样制备
第十四节扫描电子显微镜(SEM)的特点
第十三节扫描电子显微镜(SEM)衬度
第十七节扫描电子显微镜操作
第二章电子显微镜
第一节引言
人眼的分辨:~
借助光学显微镜: m
能否再提高: 可以
光学显微镜分辨率: /NA

NA
关于分辨率
第二章电子显微镜
第一节引言
缩短波长: 短波光辐射和带电粒子
德布罗意假设: 粒子的波粒二象性
运动微观粒子的波长
=h/mu
对电子来说: m是电子的质量, u是速度
第二章电子显微镜
第一节引言
初速度为零的电子在电位零到U内加速, 获得的速度为
当速度u远小于光速c时为:
当速度u与光速c可比时为:
第二章电子显微镜
第一节引言
不同加速电压下电子波的波长
加速电压(kV)
电子波长(nm)
20
30
50
100
200





第二章电子显微镜
第一节引言
当加速电压U是100kV时, , 是可见光波长的十万分之一
因此, 用电子束作照明源, 可极大地提高显微镜的分辨率, 这是电子显微镜的理论基础
怎样实现?
观察:荧光物质和胶片
成像问题:聚焦与放大
第二章电子显微镜
第一节引言
1926年, 法国物理学家Busch提出了关于电子在电磁场中运动的理论, 指出: 具有旋转对称性的电磁场对电子来说, 可以起到透镜的作用, 解决了电子束聚焦问题, 使电子显微镜制作成为可能
1932年, 德国的Knoll和Ruska首先造出了电子显微镜,分辨率达到200nm,1934年他们把分辨率提高到50nm。
1940年左右,出现了分辨率在10nm的商品电镜
第二章电子显微镜
第一节引言
50年代,扫描电镜和电子探针得到了迅速发展。
70年代后期,透射电镜和扫描电镜各取对方的长处发展成为透射扫描电镜,由于它兼有图象、结构和成分三方面的分析功能,被称作分析电镜。
近年来,在扫描电镜基础上,发展起来扫描俄歇电子显微镜。