超细陶瓷粉及陶瓷薄膜的制备方法.pdf

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内曰口 6 N 3
第1 90 卷8 第年 6 期月 V l
元仁。。 1 87
7 电子件与材抖 J 9
超细陶瓷粉及陶瓷薄膜钩制备方法
【摘要】本文概述了采用烷基金属盐水解法制备超细陶瓷粉和用铸膜法制备陶
瓷薄膜的新工艺, 着重介绍了氛化铝超细粉及其基片的制造方法, 时比了新法制品
、。
与普通同类制品的机械热及电气性能
、、
陶瓷的机械热电气性能及工艺性均与程, 容易实现连续化和自动化操作, 且具有
。
粉料的微粒化程度密切相关据有关文献介下述优点:
. 厂
绍, 微粒直径小于 10 n m 时, 微粒的表面 1 纯度高, 采用石油化学精炼工艺,
效应便显著增加, 这时称之谓超细微粒。可以得到很高纯度的烷基氧化物。
一
、, ,
陶瓷粉料微粒化的方法包括: 固相法 2 易水解烷基氧化物能在功 o ℃以
。
气相法及液相法由于液相法具有粒度分布下水解。
.
均匀、粒径可控和适于大量生产等优点, 所礼范围广, 几乎所有金属元素, 包括
。、
以近年来发展很快特别是有较高实用价值碱金属碱士金属及稀土金属元素都能形成
。
的新方法烷基金属盐水解法或称烷基氧烷基氧化物
化物水解法—, 尤为人们所重视。该方法是利 4 . 配比准, 由于水解速度快, 各元素
用离子反应和水解作用来得到各种结晶、非水解速度的差异可以忽略, 故能得到所希望
、。
结晶或无定形的金属氧化物氢氧化物的超配方比例的复合金属氧化物
。.
细粉粒由于这种方法是一种流体化处理过 5 无污染, 水解过程处于溶胶状态,
表 1 烧签氛化物水解生成的淘晓超细粉
超细粉种类烷基氧化物水解生成物最终合成物(温度)
r 一
A 12 0 a A l(O P 泣) s A 1 0 0 H Y A I么o a (4 0 0 ℃)
e 玉
M g O M g (O M )2 M g (O H )2 M g o (3 5 0 ℃)
r Z
T IO Z T i (O P 三) ‘ TI O (锐钦矿) T IO (金红石) (8 0 0 ℃)
r r r
Z r o 要 Z (O P i )‘无定形 Z 0 2 (6 0 0 ℃)
a
B a T IO s B a (O Pr 玉)‘ T i(O Pr i ) ‘ B T io s B a T io 昌(常温)
S r T IO a S r (O Pr i) 岛 T i (O P r 三) ‘ S r T io 名 S r T i0 3 (常温)
r r i r r i
5 r Z r O 3 S (OP ) 2 Z (O P ) ‘无定形 S r Z r o a (6 00 ℃)
Pb (O Pr 云)名 L a (O P r 苦)3 (Pb , L a ) (Z r , T i )0 3
PL Z T 无定形
Z r (O Pr i ) ‘ T i (O Pr i ) 毛(6 0 0 ℃)
B a Fe x 么0 二。 B a 〔Fe (O E t)一〕a 无定形 B a Fe l: 0 1 。(6 0 0 ℃)
S r Fe 1 2 O i 。 S