致爱丽丝_钢琴谱_五线谱_献给爱丽丝.doc

万级净化车间系统维护保养管理
 
清洁要求
如何进入万级净化车间?
1、任何进入万级净化车间的人,必须先进入无尘更衣室,穿上无尘帽、无尘口罩、无尘衣、静电防尘手套、无尘裤、无尘靴(如图①所示)。经过这套外形很“酷”的防尘装备可将人们身上已有的灰尘隔离在万级净化车间之外,但这才是第一步。
2、接着就要进入风淋室。所谓风淋室是指一条“吹风的长廊”,不过在这条长廊中吹出来的强风是没有任何静电存在的离子风。这种离子风所具有的中和能力可以将人身上的正负电荷中和,而且依靠静电黏附在毛发、衣服上的灰尘也会自动脱落并粘在地板上的蓝色洗尘垫上(如图②所示)。
3、走过风淋室后,就进入万级净化车间了。如果万级净化车间生产的产品要防静电,则还要经过“静电桥”彻底地消除身上的静电。若进入百级洁净室还重复2、3步骤动作。
什么是无尘概念?
按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
如表1所示,,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
万级净化车间安装内系统除了通称的空调系统之外,制程设备也包括在内,本节将对该二系统之运转维护及保养做一概略说明。
万级净化车间安装内之生产制造设备注意之重点有三:
、布置与保养:
,尤其须注意活动部分之发尘。
。
、气体、药品等往往是造成污染的原因,故应配备过滤装置。
,事先宜考虑不易积累微尘之结构,规划各并以容易清洁为原则。
,应设置在万级净化车间安装外面或回风区,并加装排气管线排气。
、气体管线和电气系统时,其构造须考虑到容易清洁,不易积累污染物。
,以避免微尘之堆积。
,避免因湿度之不当造成结露生锈。
,故维修时尽量于清洁室外进行,并加隔离栅隔离。
,应告知进出万级净化车间安装之各项规定,且负责工程师应随侍在侧监工。
,但不得带出万级净化车间安装外使用。
,将是一理想之规划。
:
、切削均为发生微尘之原因,故需将发尘部分掩盖之。
,若能的话应布置于风尾地点。
,尽量减少接触零件或产品。
,以免卷起附近之灰尘。