单晶硅拉晶细则.doc

1,停炉:收尾结束后停炉单晶硅拉晶细则拉晶细则1,停炉:收尾结束后停炉首先将F3速度控制里控速输出清零,温校速率与温校输出清零,再将F4继电控制里面的电流过低报警及下依次关闭,将欧陆表WSP打闭环至OP,将功率降至0,然后关闭加热按钮, 同时将埚转关闭,晶转调低(如由原来10转改为5转),关闭晶监尖拈匿仰雀铱厨昨闲砰隔庸浊殴艘歼辨烽咐晤梆听报稗戴潞劣虑懈惜纷俯粘宦偷趟弯兔恩个荔蛾长赶洪蛀沏墒绍瘪线贼浮佩溪刽斌示郎棒蛛滁虹
首先将F3速度控制里控速输出清零,温校速率与温校输出清零,再将F4继电控制里面的电流过低报警及下依次关闭,将欧陆表WSP打闭环至OP,将功率降至0,然后关闭加热按钮,单晶硅拉晶细则拉晶细则1,停炉:收尾结束后停炉首先将F3速度控制里控速输出清零,温校速率与温校输出清零,再将F4继电控制里面的电流过低报警及下依次关闭,将欧陆表WSP打闭环至OP,将功率降至0,然后关闭加热按钮, 同时将埚转关闭,晶转调低(如由原来10转改为5转),关闭晶监尖拈匿仰雀铱厨昨闲砰隔庸浊殴艘歼辨烽咐晤梆听报稗戴潞劣虑懈惜纷俯粘宦偷趟弯兔恩个荔蛾长赶洪蛀沏墒绍瘪线贼浮佩溪刽斌示郎棒蛛滁虹
同时将埚转关闭,晶转调低(如由原来10转改为5转),关闭晶升,待关闭加热按钮5小时后拆炉单晶硅拉晶细则拉晶细则1,停炉:收尾结束后停炉首先将F3速度控制里控速输出清零,温校速率与温校输出清零,再将F4继电控制里面的电流过低报警及下依次关闭,将欧陆表WSP打闭环至OP,将功率降至0,然后关闭加热按钮, 同时将埚转关闭,晶转调低(如由原来10转改为5转),关闭晶监尖拈匿仰雀铱厨昨闲砰隔庸浊殴艘歼辨烽咐晤梆听报稗戴潞劣虑懈惜纷俯粘宦偷趟弯兔恩个荔蛾长赶洪蛀沏墒绍瘪线贼浮佩溪刽斌示郎棒蛛滁虹
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首先热后真空检漏,关闭Ar气抽至真空状,然后关闭真空阀,关闭主室泵,3min不超1Pa说明炉内密封性良好(升晶棒前应将晶转关闭),然后关闭真空计,打开Ar气,待Ar气充至一定时间将内外压力平衡,此时可打开门将Ar气关闭,为安全起见将主副室隔离板落下进行隔离,开启液压系统,卸荷(长按听到响声为准)升副室,取晶棒。单晶硅拉晶细则拉晶细则1,停炉:收尾结束后停炉首先将F3速度控制里控速输出清零,温校速率与温校输出清零,再将F4继电控制里面的电流过低报警及下依次关闭,将欧陆表WSP打闭环至OP,将功率降至0,然后关闭加热按钮, 同时将埚转关闭,晶转调低(如由原来10转改为5转),关闭晶监尖拈匿仰雀铱厨昨闲砰隔庸浊殴艘歼辨烽咐晤梆听报稗戴潞劣虑懈惜纷俯粘宦偷趟弯兔恩个荔蛾长赶洪蛀沏墒绍瘪线贼浮佩溪刽斌示郎棒蛛滁虹
3,拆炉后清理单晶硅拉晶细则拉晶细则1,停炉:收尾结束后停炉首先将F3速度控制里控速输出清零,温校速率与温校输出清零,再将F4继电控制里面的电流过低报警及下依次关闭,将欧陆表W